核心型号与参数

1. 型号体系

• 小流量（研发 / 中试）：EST10N、EST25N
• 中流量（量产主流）：EST100WN、EST200WN、EST300WN
• 大流量（**量产）：EST500WN、EST800WN

2. 关键规格（精选）

三、核心特点

• 高温防堵（核心）：泵腔内置加热，维持高温防止副产物（如 NH₄Cl）冷凝结块，CVD/ALD **。
• 强耐腐蚀：标准镍合金流路 + N₂吹扫，耐受 HF、Cl₂、硅粉等，强腐蚀 / 高粉尘适配。
• 大流量高负载：螺杆转子设计，抽速 1,000–50,000 L/min，高负载下稳定，无喘振。
• 节能智能：50/60Hz 通用，智能转速控制，轻负载省电 **≈40%**；LCD 预警 / 报警存储。
• 洁净无油：完全无油、无接触转子，免维护，符合SEMI‑S2、CE、NRTL。

• 五、典型应用

• 半导体：ALD、LPCVD、PECVD、HDP‑CVD、MOCVD、刻蚀
• 面板 / 光伏：薄膜沉积、清洗、真空传输
• 科研 / 工业：高真空镀膜、精密退火、特种气体输送

六、与 EV‑M/EV‑X 对比（选型参考）