核心型号与参数（2026，深圳）

1. 型号体系（主流 5 款）

• EMT397M：微型（科研 / 分析仪器）
• EMT427M：小型（通用高真空）
• EMT907M：中型（半导体 / 镀膜）
• EMT1307M：中大型（刻蚀 / 离子注入）
• EMT2400M/3300MK/4200MK：大型（EUV / 大腔室）

2. 关键规格

三、核心特点

• 5 轴磁悬浮轴承（核心技术）：转子完全无接触悬浮，无机械磨损、无油、无润滑，终身免维护，振动 **<0.005μm**，适合超高真空与精密测量。
• 超高真空 + 高洁净：极限真空可达1×10⁻⁸ Pa，无碳氢污染，符合SEMI S2/CE/NRTL，适配半导体、EUV、表面分析等严苛洁净场景。
• 低振动 + 低噪音：磁悬浮无机械接触，振动极低，噪音 **<50dB (A)**，适配电镜、光刻、精密检测等对振动敏感设备。
• 宽温 + 耐腐蚀：支持120℃烘烤；可选陶瓷涂层 / PTFE耐腐蚀版本，适配刻蚀、沉积等含腐蚀性气体制程。
• 智能控制 + 灵活安装：控制器一体 / 分体可选；支持远程监控 / 故障诊断 / 网络通信；任意角度安装，适配复杂设备布局。
  

  典型应用

  • 半导体：EUV 光刻、刻蚀、离子注入、薄膜沉积、真空检测
  • 科研 / 分析：SEM/TEM、XPS、质谱、同步辐射、表面科学
  • 工业：**镀膜、MEMS、纳米加工、真空焊接、检漏
  高效节能：磁悬浮低功耗，比传统分子泵省电 **≈30%**；启停快（4–5 分钟），适配间歇制程。
  

  选购建议

  1. 超高真空（<10⁻⁷ Pa）/ 高洁净：必选EMT 系列。
  2. 预算紧 / 一般高真空（10⁻⁶ Pa）：选EBT 系列。
  3. 半导体核心制程 / EUV：选EMT1307M/2400M。
  4. 科研电镜 / 分析仪器：选EMT427M/907M。