一、核心特点

• 机械轴承设计：陶瓷轴承，抗冲击、耐气流冲击，适配移动 / 车载场景，维护成本低于磁悬浮（EMT 系列）。
• 宽抽速覆盖：氮气抽速 75–2400 L/s，覆盖小至大流量需求。
• 极限真空高：<1×10⁻⁸ mbar（<7.5×10⁻⁹ Torr），满足 UHV 超高真空要求。
• 轻气压缩强：氢气压缩比高，适合含氢 / 氦的工艺。
• 安装灵活：任意角度安装，支持风冷 / 水冷（EBT70F/240F 仅风冷）。
• 接口与控制：ISO-K/CF 法兰可选；部分型号控制器一体集成，支持网络监控。
• **合规：CE、SEMI S2、NRTL 认证，适配工业标准。

二、主要型号与参数（N₂抽速 / L/s）

三、典型应用

• 半导体：沉积、刻蚀、离子注入、检测设备
• 真空镀膜：溅射、蒸发、PECVD
• 分析仪器：SEM、X 射线、质谱、表面分析系统
• 工业真空：表面处理、真空炉、检漏系统

四、与 EMT 系列区别

• EBT：机械轴承，性价比高，抗冲击，适合工业 / 移动场景
• EMT：磁悬浮轴承，无磨损、低振动，适合超高真空 / 长周期运行

五、选型要点

1. 抽速匹配工艺流量，轻气（H₂/He）优先选高压缩比型号
2. 法兰规格（ISO/CF）适配系统接口
3. 冷却方式：小功率风冷，大功率 / 连续运行选水冷
4. 前级泵配置：推荐干泵 / 涡旋泵，满足 **≤200 Pa** 前级压力