一、核心定位与型号

• 类型：燃烧 + 湿式洗涤组合式（非真空泵）
• 主力型号：
  • TND-Single：燃烧 + 湿式（基础款）
  • TND-Single Plus：湿式 + 燃烧 + 湿式（高粉尘 / 高腐蚀工艺款）
• 处理对象：PFCs（CF₄/SF₆）、SiH₄、PH₃、NH₃、HCl、HF、HBr、VOC等 G-WS 无法处理的难燃 / 有毒气体。

二、核心特点

• 高效处理 PFCs：**低 NOx 燃烧技术，PFC 分解率≥99%，低 NOx / 低 CO 排放。
• 超长维护周期：自动清粉 + 湿壁防堵 + 罐内搅拌，维护间隔为传统机型3–6 倍，大幅降本。
• 副产物强适配：Plus 型前置湿式段，预处理 SiN/TiN 等粉尘，杜绝燃烧器堵塞。
• 低运行成本：新型燃烧器，热损低、能耗少；支持城市燃气 / 丙烷，适配全球气源。
• **合规：SEMI S2、CE、NRTL 认证；防爆设计 + 熄火保护 + 泄漏监测。
• 紧凑易集成：单台处理1–4 路尾气，机柜式设计，维护仅需前方空间，适配 sub‑fab 狭小区域。

三、关键参数（TND‑Single/Single Plus）

四、与 G‑WS 系列的区别

• G‑WS：纯湿式，仅处理水溶性气体（HF/HCl/NH₃），不能处理 PFCs/SiH₄，成本低。
• TND：燃烧 + 湿式，全气体覆盖（含 PFCs/SiH₄），维护周期长，适合半导体**工艺（刻蚀 / CVD / 沉积）。

五、典型应用

• 半导体：刻蚀（Etch）、PECVD、ALD、外延（Epi）、离子注入等含 PFC / 硅烷工艺。
• 配套泵型：EBT/ET 分子泵、EST 干式真空泵下游，处理高浓度 / 腐蚀性尾气。

六、选型建议

1. 气体种类：含PFCs/SiH₄/PH₃必选 TND；仅水溶性气体选 G‑WS 更经济。
2. 粉尘负荷：高粉尘（如 TiN/SiN）优先TND‑Single Plus。
3. 风量匹配：按真空泵总排气量 ×1.2–1.5 倍选型（如 800 L/min）