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爱发科(ULVAC)PRC-018AF机械增压罗茨泵
产品型号:PRC018A-F
产品简介:

PRC 系列是日本原装进口、洁净型屏蔽电机罗茨泵,定位半导体 / 液晶 / **镀膜精密真空,和通用型 PMB 系列*大区别:无轴封、零漏油、洁净等级更高,必须搭配前级泵(旋片泵 / 干泵)使用

详细介绍

一、核心型号与关键参数(50Hz,标准型)

型号              *大抽速 (m³/h)           极限压力 (Pa)      电机功率 (kW)   冷却方式     重量 (kg)   适配前级泵

PRC‑003A    300                              0.4                       0.75                 空冷           51               VD601

PRC‑006A    600                              0.67                     2.2                    空冷           86              VD901

PRC‑012A   1200                             0.67                     3.7                    空冷          118             VS1501

PRC‑018A   1800                             0.67                     5.5                    水冷          150             VS2401

二、核心特点(对比 PMB 系列*大优势)

  1. 屏蔽式密封电机(无机械轴封)
    无大气 - 真空侧轴封,**零漏油、无油蒸汽污染,满足半导体、光学镀膜超高洁净要求。
  2. 泵腔完全无油
    转子无接触、无泵腔润滑油,耐水蒸气、溶剂蒸汽、轻微腐蚀性气体,性能稳定。
  3. 耐腐蚀强化处理
    转子 / 壳体阳极氧化铝硬质涂层,抗粉尘、抗腐蚀,适配酸碱 / 水汽工艺。
  4. 可选大气压直接启动(配变频器)
    可与前级泵同步从大气压启动,大幅缩短抽气时间,普通罗茨泵必须预抽后启动。
  5. 日本整机原装进口
    精度、稳定性优于 PMB(部分国产组装),适合精密真空、长时连续运行。

三、典型应用(**洁净场景)

  • 半导体、LCD / 面板制造、晶圆制程
  • **光学镀膜、溅射、离子镀、蒸镀
  • 精密真空干燥、冻干、医药脱气
  • 氦检漏系统、质谱、分析仪器
  • 新能源、锂电真空注液 / 干燥

五、PRC vs PMB 选型快速区分

  1. 选 PRC:半导体、**光学、零漏油、高洁净、精密镀膜、进口整机要求
  2. 选 PMB:通用工业、普通镀膜、真空炉、预算有限、可接受常规密封