一、核心定位与原理

1. 制冷结构：单级 GM 制冷机（80K/-193℃），无需液氮，靠闭式氦气制冷，专门冷凝水蒸气、CO₂、有机溶剂蒸汽
2. 核心优势（对比 U 系列）
   • 抽水能力极强：同口径下水蒸气抽速碾压分子泵、U 系列，快速除水汽、腔体快速干燥
   • 结构简单、故障率低、再生快、维护成本低、价格远低于 U 系列
   • 无油、无振动、清洁真空，适配光学镀膜、磁控溅射、FPD 面板、半导体腔体除水
3. 短板：单级制冷，无法抽氢气、氦气、氩气，极限真空仅10⁻⁴~10⁻⁵Pa，不能单独作为主泵，需搭配分子泵 / 离子泵使用
4. 配套压缩机：标配C10T 制冷机组，220V/380V 可选

二、主流型号 & 核心参数（法兰口径 + 水蒸气抽速，20℃）

CRYO‑T 按法兰英寸划分，覆盖 4~30 英寸，常用型号：

型号 法兰规格水蒸气抽速 (L/s)适用场景

CRYO‑T44 英寸1200小型腔体、实验室、小型镀膜机

CRYO‑T66 英寸2800通用标准款，光学镀膜、溅射机（*常用）

CRYO‑T88 英寸4500中型腔体、磁控溅射、批量镀膜

CRYO‑T1010 英寸7000大型腔体、FPD 面板、半导体腔体

CRYO‑T16/T20/T3016~30 英寸15000~50000超大腔体、真空舱、大型量产线

三、CRYO‑T vs CRYO‑U 核心区别（选型必看）

1. CRYO‑T：单级 80K，只抽水汽，除水专用冷阱，极限真空低，性价比高，搭配主泵使用
2. CRYO‑U：双级 10K，全能抽气（水 / 氮 / 氩 / 氢），可单独做主泵，超高真空，价格更高

四、典型应用场景

1. 真空镀膜、光学镀膜、磁控溅射：快速除水汽，提升膜层纯度，减少白点、针孔
2. 半导体晶圆腔体、FPD 面板产线：腔体快速干燥、缩短抽气时间
3. 科研真空腔体、质谱、表面分析：水汽污染控制
4. 真空热处理、检漏设备：水汽快速冷凝

五、维护与再生

1. 水汽吸附饱和后加热再生除霜，T 系列再生速度远快于 U 系列
2. 冷头寿命约16000 小时，维护简单，仅需定期更换密封件、检查氦气