一、系列分类 & 核心特点

1. UTM‑MS 系列（外置控制器・紧凑型磁浮）

• 特点：泵体与控制器分离，体积小巧，转速可调 25%–100%，镀镍防腐，可直连罗茨泵，适合中小腔体、实验室
• 轴承：5 轴磁悬浮，无机械摩擦，寿命长、免维护
• 冷却：风冷 / 水冷可选

2. UTM‑MI 系列（内置控制器・通用主力）

• 特点：控制器集成泵体底部，接线简单，稳定性强，主流量产标配款
• 极限真空：烘烤后可达10⁻⁷Pa，清洁无油
• 冷却：标配水冷，噪音 57–60dB (A)

3. UTM‑FH/FW 系列（宽流量・耐腐蚀）

• FH：高压缩比，侧重抽氢气、轻气体
• FW：大流量、抗粉末、耐腐蚀，适配溅射、PECVD、半导体刻蚀等恶劣工艺
• 抽速覆盖：350–6300L/s，爱发科**分子泵系列

二、主流型号参数（氮气抽速 L/s，法兰、前级泵）

型号法兰氮气抽速前级泵推荐适用场景

UTM300A‑MSISO10030040–100L/min小型腔体、实验室

UTM400A‑MSISO10040060–150L/min小型镀膜、科研

UTM1200A‑MIISO1601030≥600L/min标准镀膜、磁控溅射

UTM1600A‑MIISO2001400≥1000L/min中型量产、光学镀膜

UTM2300A‑MIISO2502100≥1500L/min大型腔体、半导体

UTM3400A‑MIISO3003200≥2000L/minFPD 面板、超大真空舱

三、UTM 分子泵 vs CRYO‑U/CRYO‑T 低温泵（选型核心对比）

1. UTM 分子泵：抽氮气、氩气、空气强；抽水（水汽）弱，需配 CRYO‑T 冷阱；可连续工作，无再生
2. CRYO‑U 低温泵：全能抽气（水 / 氮 / 氢 / 氩），极限真空更高；需制冷机、定期再生
3. CRYO‑T 冷阱：只抽水，搭配分子泵快速除水汽

四、典型应用

1. 真空镀膜、磁控溅射、光学镀膜（UTM+CRYO‑T 黄金组合）
2. 半导体、晶圆工艺、PECVD、刻蚀
3. 科研：质谱、表面分析、超高真空腔体
4. 检漏、真空热处理、精密仪器

五、配套 & 维护

1. 前级泵：搭配油旋片泵 / 干式真空泵
2. 磁悬浮轴承：无磨损，常规维护周期 2–3 年
3. 通讯：支持 RS232/485，可接入设备 PLC 远程监控