1. 工作原理

2. 型号后缀含义（选型关键）

• CU/CX：活性气体型，抽N₂、O₂、H₂、水蒸气强（常规通用款）
• AU/AX：稀有气体强化型，氩气、氦气抽速翻倍，适合溅射、惰性气体环境ULVAC SHOWCASE

二、核心优势（对比分子泵 / 低温泵）

1. 无振动、零噪音：无旋转 / 制冷部件，适合精密分析仪器
2. 极限真空*高：烘烤后可达10⁻¹¹Pa，远超分子泵
3. 长期待机稳定：可连续几年运行，几乎免维护
4. 无油洁净：无碳粉、无润滑油污染
5. 短板：不能粗抽，需前级泵；抽速小；钛靶消耗后需更换电极

三、主流型号 & 参数（氮气抽速 L/s，法兰 ICF）

PST‑030CU/AUICF0703012/24小型通用9.5kg

PST‑050CU/AUICF1145020/40标准爆款12kg

PST‑100CX/AXICF15210040/80中型超高真空37kg

PST‑200CXII/AXIIICF20320080/160大型腔体70kg

PST‑400CXII/AXIIICF253400160/320超大真空舱120kg

四、典型应用

1. 科研：扫描电镜 SEM、透射电镜 TEM、XPS/TOF 质谱、表面分析
2. 半导体：超高真空腔体、离子注入、分子束外延 MBE
3. **镀膜、加速器、真空检漏精密设备
4. 对振动、噪音、洁净度要求极高的场景