ADVANCE 安德旺斯 SAV 系列｜高纯气动隔膜阀（半导体 + 药业通用）

一、产品定位

• 类型：活塞式气动隔膜切断阀（常闭 / 常开）
• 赛道：半导体湿法 / 超纯水、生物医药无菌、高纯酸碱药液
• 结构：PFA 一体注塑阀体 + 全隔离隔膜，阀杆不接触介质，零金属析出、无颗粒污染
• 对标：半导体日系高纯阀主流选型，替代进口**小口径隔膜阀

二、核心结构与原理

1. 气动活塞执行器驱动隔膜上下形变
2. 隔膜完全隔离介质与传动部件，无填料、无外漏、无死角积液
3. 直通光滑流道，双向耐压，排空干净，**适配CIP 在线清洗、SIP 高温**
4. 体积超紧凑，支持单阀 + 汇流排 manifold密集安装

三、完整规格参数（原厂标准）

1. 口径规格

• 英制：1/4"、3/8"、1/2"、3/4"、1"
• 方形阀体尺寸：□25 / □35 / □45 / □60

2. 压力 & 温度

• 介质工作压力：0～0.5MPa（5bar） 双向耐压
• 气源控制压力：0.4～0.6MPa
• 常规温度：10～100℃
• 高温特种 SAV+：*高 180～200℃，适配蒸汽**

3. 湿件材质（半导体 GMP 高纯）

• 阀体：PFA 注塑高纯氟树脂（耐强酸强碱、氢氟酸、磷酸、氨水）
• 隔膜：PTFE/EPDM 复合双层，FDA 洁净、低离子析出
• 无金属湿接触，适配半导体 Ultra Pure 制程

4. 连接方式

• 扩口接头 Flare
• SAV+ 专用 Pillar 快插接头
• 焊接、卡套、汇流集成管路

5. 动作方式

• 气开常闭（NC，断电断气关闭，**防爆）
• 气关常开（NO）
• 可选：位置反馈、限位开关、泄漏检测口、旁路节流、高温加长型

四、SAV 与 SAV+ 区别

• SAV 标准版：常温 DI 水、普通酸碱、常规扩口连接
• SAV+ 升级高纯版：耐高温、特殊接头、更低析出、更长寿命、SIP **专用

五、典型型号示例（行业常用）

• SAV-3260-131TiZ
• SAV-3260-131Cm
  型号编码：阀体尺寸 - 接口规格 - 膜片材质 - 功能选配

六、行业应用（你半导体 + 药业双场景）

半导体前段 / 湿法制程

• 超纯水 DIW、蚀刻酸碱、清洗药液、浆料管路
• 刻蚀机、清洗机、湿法台、酸碱柜气控切断

医药生物药业

• WFI 注射用水、纯蒸汽、无菌药液、CIP/SIP **管路
• 生物反应器、配液系统、无菌纯化水分配

七、核心优势

1. PFA 全塑高纯，零金属离子污染，半导体晶圆级洁净
2. 隔膜全隔离，零内漏、零外逸，有毒腐蚀介质**
3. Y 型直通无死角，易清洗不残留，杜绝微生物滋生
4. 日系稳定耐用，响应快、寿命长、维护仅换隔膜
5. 体积小巧，适合设备密集狭小空间安装

• 左：小口径（1/4"–3/8"）
• 右：中口径（1/2"–1"）
• 材质：PFA 白色高纯塑料，气动上盖一体成型
• 接口：标准扩口 Flare（SAV 标配）

✅ SAV+ 高温 / 高纯升级型（180–200℃，SIP 可用）