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SEM坂本电机AS- 21自动精密调平台
产品型号:AS-21
产品简介:

AS-21 / AS-21S(自动精密调平台) 一体式圆形平台(底座 + 台面),自带驱动与控制

详细介绍
  • 一体式圆形平台(底座 + 台面),自带驱动与控制
  • 台面:Φ 约 200 mm,带安装孔
  • 侧面:操作按钮、电源、状态 LED

核心参数

  • 型号:AS-21(标准)/ AS-21S(升级)
  • 调平范围:±4° 以内自动调平
  • 调平精度:±0.001°(与 SELN/Z-18 同级)
  • *大负载:100 kg
  • 电源:AC/DC 两用(实验室 / 现场都能用)
  • 控制:一键自动调平;完成后 LED 绿灯提示并自动锁定

特点

  • 全自动:放好设备→按 START→自动调平→锁定,无需人工反复微调
  • 高精度:内置 SEM 同款高精度倾角传感器
  • 节省时间:尤其适合光刻机、晶圆检测、精密光学仪器等需要频繁调平的设备
  • 带固定功能:调平后平台锁死,防止漂移

典型用途

  • 半导体设备(光刻机、探针台、检测机)
  • 光学平台、干涉仪、精密测量系统
  • 长期保持水平基准的精密仪器

三、Z-18 vs AS-21 怎么选?

  • Z-18
    你已有平台 / 设备,只需要测量、人工调平;预算更紧、空间受限。
  • AS-21/AS-21S
    你需要自动调平 + 承载设备;要求快速、重复、免人工干预。