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KEYENCE基恩士 GT2‑ H32 接触式高精度位移传感器
产品型号:GT2‑H32
产品简介:

基恩士 KEYENCE GT2 系列 接触式高精度位移传感器 (半导体 / 精密设备常用,和你刚看的 IL 激光位移互补:IL 非接触,GT2 接触式,精度更高、稳定性更强)

详细介绍

一、产品定位

接触式数字位移传感器,靠测头直接接触工件测量,微米 / 亚微米级高精度,抗反光、抗粉尘、不受材质影响,适合芯片引脚、BGA、探针台、治具、晶圆载具、精密工装测量。
属于基恩士超高精度位移测量主力系列,半导体、3C、精密加工行业标配。

二、核心结构

传感器探头 + 放大器单元 组成,测头内置弹簧,轻压接触测量。

三、两大探头类型(选型关键)

1. GT2‑P 笔式 / 标准型

细长笔式,适合狭小空间、设备内部安装
  • GT2‑P12K:半导体爆款,12mm 量程,高精度,探针台、固晶机、键合机专用
  • GT2‑P12:普通型
  • GT2‑P22:22mm 大量程
  • GT2‑P8:小量程超高精度

2. GT2‑H 回弹式(侧向 / 垂直安装)

测头横向伸出,适合侧面测量、空间受限场景
  • GT2‑H12K、GT2‑H32
K 型号 = 高精度版,半导体必选

四、放大器(配套使用)

  • GT2‑72N:DIN 导轨型,NPN 输出,半导体设备控制柜常用
  • GT2‑71P:PNP 型
  • GT2‑75:带 RS485 通讯,对接 PLC、上位机

五、关键性能(半导体核心优势)

  1. 重复精度:0.1 μm(比 IL 系列更高)
  2. 分辨率:0.1μm / 1μm 可调
  3. 采样速度:*高 16kHz
  4. 不受表面材质影响:黑胶、陶瓷、金属、玻璃都能测(激光测不了的都能用它)
  5. 弹簧力轻柔,不会压伤芯片、晶圆、微小零件
  6. IP67,适配无尘车间、洁净室

六、半导体典型运用场景

  1. 芯片引脚高度、平整度、共面度检测
  2. BGA 焊球高度、间距测量
  3. 探针台探针位移、压力监测
  4. 晶圆载具、FOUP 治具变形、平整度检测
  5. 精密定位治具微小位移、公差检测
  6. 封装后外壳高度、厚度测量