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传感器
探头
KEYENCE基恩士GT2‑ 75接触式高精度位移传感器
产品型号:GT2‑75
产品简介:
基恩士 KEYENCE GT2 系列 接触式高精度位移传感器 (半导体 / 精密设备常用,和你刚看的 IL 激光位移互补:IL 非接触,GT2 接触式,精度更高、稳定性更强)
详细介绍
一、产品定位
接触式数字位移传感器
,靠测头直接接触工件测量,微米 / 亚微米级高精度,抗反光、抗粉尘、不受材质影响,适合
芯片引脚、BGA、探针台、治具、晶圆载具、精密工装
测量。
属于基恩士
超高精度位移测量主力系列
,半导体、3C、精密加工行业标配。
二、核心结构
由
传感器探头 + 放大器单元
组成,测头内置弹簧,轻压接触测量。
三、两大探头类型(选型关键)
1. GT2‑P 笔式 / 标准型
细长笔式,适合狭小空间、设备内部安装
GT2‑P12K:
半导体爆款
,12mm 量程,高精度,探针台、固晶机、键合机专用
GT2‑P12:普通型
GT2‑P22:22mm 大量程
GT2‑P8:小量程超高精度
2. GT2‑H 回弹式(侧向 / 垂直安装)
测头横向伸出,适合侧面测量、空间受限场景
GT2‑H12K、GT2‑H32
带
K
型号 =
高精度版
,半导体必选
四、放大器(配套使用)
GT2‑72N:DIN 导轨型,NPN 输出,半导体设备控制柜常用
GT2‑71P:PNP 型
GT2‑75:带 RS485 通讯,对接 PLC、上位机
五、关键性能(半导体核心优势)
重复精度:0.1 μm
(比 IL 系列更高)
分辨率:0.1μm / 1μm 可调
采样速度:*高 16kHz
不受表面材质影响:
黑胶、陶瓷、金属、玻璃都能测
(激光测不了的都能用它)
弹簧力轻柔,不会压伤芯片、晶圆、微小零件
IP67,适配无尘车间、洁净室
六、半导体典型运用场景
芯片引脚高度、平整度、共面度检测
BGA 焊球高度、间距测量
探针台探针位移、压力监测
晶圆载具、FOUP 治具变形、平整度检测
精密定位治具微小位移、公差检测
封装后外壳高度、厚度测量