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KEYENCE基恩士FU‑ 66光纤探头
产品型号:FU‑66
产品简介:

基恩士 KEYENCE FS‑N 放大器 + FU 光纤头 完整介绍(半导体专用版) 一、整体定位 FS‑N 系列 = 光纤放大器,FU 系列 = 光纤探头 基恩士*经典、用量*大的光纤传感组合,特点:体积极小、可进狭小空间、真空腔体可用、响应快、洁净室适配。 半导体主要用来:晶圆边缘检测、FOUP 有无、微小零件到位、真空腔体内检测、微小限位,是设备标配。 算法更强、抗干扰更好、更小体积

详细介绍

二、FS‑N 光纤放大器(主机)主流型号

半导体*常用型号:
  • FS‑N18N:NPN 输出,标准通用款,*畅销
  • FS‑N11N:经济型
  • FS‑N41N:双路输出,可同时接 2 组光纤
  • FS‑N13CP:PNP 输出,部分设备专用
    特点:
  • 高速响应,*高 33μs,适配高速搬送
  • 一键示教,抗粉尘、抗杂光
  • DIN 导轨安装,设备柜通用
  • IP40,洁净车间稳定

三、FU 光纤探头(半导体常用型号,重点)

1. 对射型(检测有无、穿过式检测,晶圆盒、载具)

  • FU‑10:标准对射
  • FU‑12:细芯,微小物体
  • FU‑41TZ:耐高温,真空腔体常用

2. 漫反射型(近距离、微小检测,半导体爆款

  • FU‑67V:侧视型,晶圆边缘检测、微小限位**
  • FU‑66:细光斑,微小零件检测
  • FU‑35TZ:耐温,真空环境
  • FU‑45X:超高精度,光斑极小

3. 区域 / 多芯型(FOUP、托盘大范围检测)

  • FU‑E40:宽区域检测
半导体高频组合:FS‑N18N + FU‑67V

四、核心优势(半导体适用亮点)

  1. 光纤极细,可伸入真空腔体、狭小缝隙、晶圆槽位
  2. 非磁性、不干扰晶圆,适合高精度制程
  3. 不受粉尘、水汽影响,无尘车间稳定
  4. 检测距离近、精度高,适合微小物体
  5. 安装灵活,可弯折布线

五、半导体运用场景

  1. 晶圆边缘感应、晶圆到位检测
  2. FOUP 晶圆盒有无、开关门检测
  3. 真空腔体内部微小位置检测
  4. 芯片、治具微小零件到位 / 限位
  5. 固晶机、键合机、探针台定位感应
  6. 洁净室微小物料有无检测