核心优势（半导体专用）

1. 步距角 0.72°（两相 1.8°），精度更高、运动更顺滑
2. 低振动、低抖动，不会划伤晶圆、芯片
3. 低速力矩大，启停平稳，无丢步
4. 发热量低，适合洁净室、真空周边设备
5. 体积紧凑，法兰尺寸小，适配狭小设备空间
6. 可加装电磁刹车，断电自锁，防止晶圆掉落、治具下滑

三、半导体*常用型号（直接选型）

1. PK564NAW（行业爆款，60 法兰）

• 法兰：60mm
• 扭矩：0.85 N・m
• 用途：探针台、固晶机、视觉对焦、微小位移轴

2. PK566NAW（60 法兰，中扭矩）

• 扭矩：1.4 N・m
• 用途：晶圆载具移动、中等负载三轴平台

3. PK596NAW（85 法兰，大扭矩）

• 扭矩：3.1 N・m
• 用途：FOUP 升降、龙门搬运、重负载定位

4. 带刹车型号（断电自锁，**必备）

• PK564NAW‑B
• PK566NAW‑B
• PK596NAW‑B

四、配套专用驱动器（必须配对）

• CRD503‑K：标准五相驱动器，DIN 导轨安装，半导体设备柜*常用
• RKSD503‑C：经济型五相驱动

五、半导体典型应用场景

1. 探针台 X/Y/Z 三轴精密定位
2. 固晶机、键合机 芯片对位、焊线移动
3. 晶圆盒 FOUP 升降、开关门、载具平移
4. 视觉系统相机对焦、微调平台
5. 真空设备内部精密驱动
6. 封装、测试设备精准走位