东方马达 PK564NAW‑B 五相步进电磁刹车电机（半导体专用）

一、产品简介

二、核心参数

• 法兰尺寸：60mm
• 相数：5 相（步距角 0.72°，低震动、高精度）
• 额定扭矩：0.85 N・m
• 刹车类型：断电电磁刹车（断电瞬间锁死，通电释放）
• 刹车保持力：≥0.9 N・m，完全锁止不下坠
• 适配驱动器：CRD503‑K（五相专用）

三、半导体核心优势

1. 断电刹车自锁，防止晶圆、FOUP、治具下坠滑落，**等级高
2. 五相电机低抖动，运动平稳，不伤芯片 / 晶圆
3. 刹车响应快，无冲击，适合洁净室精密环境
4. 一体化结构，体积紧凑，适配 XYZ 三轴 Z 轴升降

四、应用场景

• 探针台 Z 轴升降定位
• FOUP 晶圆盒升降机构
• 固晶机、键合机 Z 轴
• 精密平台垂直轴**锁止
• 真空设备垂直位移机构

五、配套组合

• 电机：PK564NAW‑B
• 驱动器：CRD503‑K
• 滑台搭配：LMD06‑50‑PK564NAW‑B