真空柔性软管（半导体主力产品）

1. NK‑2300 系列（高真空专用，半导体标配）

• NK‑2300KF：KF 法兰型真空软管（KF10‑KF50），SUS316L 管体、SUS304 法兰，漏率≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，适配高真空腔体、真空泵、镀膜设备
• NK‑2300V：JIS VG‑VF 法兰型，适配大型真空管路，用于半导体设备主抽气管道
• NK‑2300PT：管端式真空软管，超细口径（3.18‑12.7mm），适配设备内部微型真空管路，耐温‑196~300℃

2. NK‑FJP‑C 氟聚合物柔性软管

3. NK‑1200GS 多功能柔性软管

真空精密组件 / 辅助产品

1. 伸缩管接头：吸收热胀冷缩、安装误差、振动，防止管路断裂漏气，适配半导体产线长期运行
2. 真空吸嘴：晶圆真空搬运、吸附，适配半导体 EFEM 传送、晶圆台精密定位
3. 超薄不锈钢波纹管（0.15‑0.3mm）：半导体专用真空波纹管，超高洁净、低漏率，用于腔体密封、柔性连接

四、核心性能（适配半导体严苛要求）

• 漏率：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足高真空制程
• 材质：SUS316L、PTFE、高纯氟橡胶，无金属离子析出、耐等离子体 / 腐蚀性气体
• 耐温：‑196℃~300℃，适配半导体高温工艺、低温冷却管路
• 洁净度：无粉尘、无残留，适配 Class1/10 洁净室