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KASUGA 春日电机KDB‑SI系列标准离子风棒
产品型号:KDB‑SI‑400
产品简介:

KASUGA 春日电机 KDB‑SI 系列离子风棒 KDB‑SI 是KDB 标准型的高洁净防尘升级版,专为晶圆前道制程、Fab 无尘室、Class100/1000 高洁净环境开发,主打防尘、密封、抗污染,是半导体高 端产线专用款。

详细介绍

一、核心定位

  • 放电方式:直流 DC 正负独立放电
  • 核心卖点:全密封防尘结构、陶瓷绝缘、不易积尘、不易漏电、低粒子污染
  • 定位:晶圆制造、探针台、涂布、曝光、光学工位、超高洁净区专用

二、全系列完整型号

KDB‑SI‑400
KDB‑SI‑500
KDB‑SI‑600
KDB‑SI‑800
KDB‑SI‑1000
KDB‑SI‑1200
KDB‑SI‑1500
KDB‑SI‑2000

三、关键电气参数(与 KDB/CKDB 一致)

  • 离子平衡:≤±10V
  • 除电速度:10kV→100V,≤1s @150mm
  • 臭氧发生量:极低,满足高洁净室要求
  • 推荐安装距离:100–200mm
  • 放电针:钨合金材质,耐磨抗氧化
  • 工作温度:0~40℃

四、结构*大亮点(和普通 KDB/CKDB 区别)

  1. 前端防尘套筒 + 全密封陶瓷绝缘结构,粉尘、微粒不易进入棒体内部
  2. 高压部位完全隔离,减少漏电、打火、粒子产生,不污染晶圆
  3. 表面特殊绝缘涂层,耐 IPA、酒精等无尘室清洗剂擦拭
  4. 安装尺寸、接线方式与标准 KDB 通用,可直接互换
  5. 不易积灰,维护周期更长,适合高洁净、少维护的 Fab 车间

五、配套电源(完全通用)

KD‑309B / KD‑309L / KD‑309BS / KD‑309LBS
带 PLC 报警信号款更适合自动化晶圆产线。

六、选型场景区分(一句话记住)

  • KDB:普通封测、组装产线,性价比
  • CKDB:粉尘多、切割研磨区,可快速换针
  • KDB‑SI晶圆前道、高洁净 Fab、Class100/1000 必选