一、固定式静电监测传感器（RS485 联网 + 报警）

1）ARS‑S005（经典款，半导体*常用）

• 类型：固定安装式静电场监测仪（带报警输出）
• 测量范围：精密 ±2kV / 扩展 ±20kV
• 分辨率：精密 1V / 扩展 10V
• 精度：精密 ±5% / 扩展 ±10%
• 距离：固定 25mm（精密）；50–100mm 可调（扩展）
• 通讯：RS485，1 台 PC *多监控30 台
• 输出：NPN/PNP 报警（可接 PLC）
• 应用：晶圆 / 光罩制程、Load Port、FOUP、真空腔体长期在线监测

  2）ARM‑S050（距离自动补偿型）

  • 特色：超声波 + 电位传感器集成，自动补偿测量距离
  • 范围：±2kV / ±20kV
  • 通讯：RS485
  • 用途：传送线、机械手、动态工位（距离变化）的静电监测

  3）ARS‑M002Z2（无线型，便携 + 固定两用）

  • 类型：便携式无线静电场计
  • 范围：±100V（离子平衡）/ ±2kV / ±20kV
  • 通讯：无线 + USB，PC 实时记录
  • 用途：机台调试、定期点检、不便布线区域

  二、手持式静电测量 / 巡检系列

  1）ARS‑H002ZA（手持式静电场计，巡检主力）

  • 模式：精密 ±2kV、扩展 ±20kV、离子平衡 ±300V
  • 距离：25mm
  • 特点：可旋转探头，狭窄空间测量方便
  • 输出：USB 可连 PC 记录
  • 用途：超净室巡检、设备维护、ESD 稽核

  二、手持式静电测量 / 巡检系列

  1）ARS‑H002ZA（手持式静电场计，巡检主力）

  • 模式：精密 ±2kV、扩展 ±20kV、离子平衡 ±300V
  • 距离：25mm
  • 特点：可旋转探头，狭窄空间测量方便
  • 输出：USB 可连 PC 记录
  • 用途：超净室巡检、设备维护、ESD 稽核

  2）ARS‑M002ZA（简易离子平衡 checker）

  • 范围：±100V（±10%）
  • 分辨率：1V
  • 用途：快速确认离子棒 / 风机的离子平衡是否合格