三相 EMI 滤波器（TB3 系列，半导体标准功率）

定位：500VAC、10–60A、共模 + 差模、低漏电流，适配刻蚀机、沉积设备、Load Port 群、AMHS。

典型型号（参数）

• TB3-30：30A / 289/500VAC / 漏电流 7mA / 两级
• TB3-40(D)：40A / 289/500VAC / 漏电流 7mA / 两级
• TB3-50：50A / 289/500VAC / 漏电流 7mA / 两级
• TB3-60：60A / 289/500VAC / 漏电流 7mA / 两级

核心规格（全系列通用）

• 额定电压：3Φ 289/500VAC（50/60Hz）
• 电路结构：三相三线、单级共模 + 差模（部分型号两级）
• 绝缘耐压：线 - 线 2250VDC/1min；线 - 壳 2700VDC/1min
• 漏电流：≤7mA（标准型）；≤21mA（500V/60Hz，高功率型）
• 温度范围：-25℃～+100℃（含温升，半导体高温环境适配）
• 认证：CE、cULus、cCSAus、SEMKO、ENEC、KC（符合 SEMI S2）
• 结构：金属外壳、螺丝端子台、底座 / DIN 导轨安装、环氧树脂灌封（防尘防潮抗震）

半导体常用型号（参数速览）

标准型（CD1K 后缀，≤100℃，漏电流≤7mA）

• TB3-5006CD1K：6A；500VAC；漏电流＜7mA
• TB3-5010CD1K：10A；500VAC；漏电流＜7mA
• TB3-5016CD1K：16A；500VAC；漏电流＜7mA
• TB3-5020CD1K：20A；500VAC；漏电流＜7mA（*常用）
• TB3-5030CD1K：30A；500VAC；漏电流＜7mA
• TB3-5040CD1K：40A；500VAC；漏电流＜10mA

高温 / 高可靠型（HD 后缀，≤100℃，漏电流≤21mA）

• TB3-5020CD11HD：20A；高温高可靠；漏电流＜21mA（洁净室 / 刻蚀机常用）

三、半导体选型要点

1. 中 功率主电源（刻蚀 / 沉积）：TB3-5020CD1K（20A、标准漏流、耐高温）
2. 真空泵 / 电机驱动：TB3-5030CD1K（30A、高浪涌耐受）
3. 洁净室 / 高温腔体：TB3-5020CD11HD（20A、高可靠、低噪声）
4. 关键优势：宽温 - 25~+100℃、无粉尘挥发、SEMI S2 合规、与 TB1（单相）同品牌 EMI/ESD 配套