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DIT东日技研TB6系列三相三线 EMI 滤波器
产品型号:TB6-5040D3DH
产品简介:

DIT 东日技研 TB6 系列(三相三线 EMI 滤波器,半导体大功率 / 高噪声专用) 定位:三相 277/480V~500VAC、两级 / 三级滤波、超大电流、超高抑制、耐高温,半导体大功率机台(扩散炉、CVD、PVD、离子注入、大型真空泵、高压射频电源)专用,适配高噪声、高浪涌、24 小时连续运行场景。

详细介绍

一、核心规格(全系列通用)

  • 额定电压:3Φ 277/480VAC、289/500VAC(50/60Hz,半导体全球标准)
  • 电路结构:三相三线、两级 / 三级共模 + 差模(高噪声必选三级)
  • 绝缘耐压:线 - 线 2500VDC/1min;线 - 壳 3000VDC/1min(高于 TB3,防击穿)
  • 漏电流:标准≤10mA;高可靠≤25mA;超大功率≤85mA
  • 温度范围:-25℃~+105℃(含温升,适配扩散炉 / 腔体高温环境)
  • 认证:CE、cULus、cCSAus、SEMKO、ENEC、KCSEMI S2 **合规,洁净室无粉尘挥发)
  • 结构:加厚金属外壳、环氧树脂真空灌封、母线 / 大端子台、底座 / DIN 导轨安装(抗震、防潮、防腐蚀,24h 连续运行)
  • 关键优势:高插入损耗(1MHz~30MHz≥60dB)、高浪涌耐受(5kA)、低阻抗、无泄漏

二、半导体常用型号(参数速览,按功率分级)

标准大功率型(500VAC,两级滤波,≤105℃)

  • TB6-5030D3DH:30A;500VAC;两级;漏流<10mA(CVD 小型机)
  • TB6-5040D3DH:40A;500VAC;两级;漏流<10mA(PVD / 刻蚀主电源)
  • TB6-5060D3DH:60A;500VAC;两级;漏流<15mA(扩散炉 / 大型真空泵)
  • TB6-5080D3DH:80A;500VAC;两级;漏流<15mA(离子注入机)
  • TB6-5100D3DH:100A;500VAC;两级;漏流<20mA(高压射频电源)

超高噪声专用型(三级滤波,高抑制,≤105℃)

  • TB6-B060LAS:60A;480VAC;三级;漏流<25mA(高噪声腔体 / 射频干扰环境)
  • TB6-B080LAS:80A;480VAC;三级;漏流<25mA(CVD/PECVD 强干扰)
  • TB6-B100LAS:100A;480VAC;三级;漏流<30mA(大功率沉积设备)

超大电流旗舰型(母线连接,≤105℃,24h 满负载)

  • TB6-4200BC6:200A;440VAC;三级;漏流<50mA(Fab 主配电 / 大型机台群)
  • TB6-4300BC6:300A;440VAC;三级;漏流<60mA(超大型扩散炉 / 生产线)
  • TB6-4400BDA2T:400A;440VAC;三级;漏流<85mA(Fab 总电源 / 大功率集群)

三、半导体选型要点(场景化推荐)

  1. 高噪声腔体(CVD/PECVD/ 刻蚀)TB6-B080LAS(80A、三级滤波、高抑制,射频干扰克星)
  2. 扩散炉 / 高温腔体TB6-5060D3DH(60A、500V、耐高温,24h 连续运行)
  3. 离子注入 / 高压射频电源TB6-5100D3DH(100A、高浪涌耐受、低漏流)
  4. Fab 主配电 / 机台群TB6-4200BC6(200A、母线连接、三级滤波,保障整线 EMI 合规)
  5. 与 TB3 区别:TB3(≤40A,标准噪声);TB6(≥30A,高噪声 / 大功率,三级滤波 + 更高耐压 + 更高温度)

四、型号命名规则(快速解读)

  • TB6 - 50 40 D 3 DH
    • TB6:系列名(三相三线大功率)
    • 50:500VAC 额定电压(48=480V、44=440V)
    • 40:额定电流(40A)
    • D:两级滤波(B = 三级滤波,高噪声)
    • 3:标准漏流(L = 低漏流,H = 高可靠)
    • DH:金属外壳 + 耐高温(LAS = 高噪声专用,BDA2T = 超大电流母线型)