欢迎进入玉崎半导体(深圳)有限公司网站!

成为连接全球半导体资源
与国内终端需求的核心桥梁

全 国 服 务 电 话
13530227878

产品分类导航
PRODUCT CENTER
MKS
MTL
德国BUSCH普旭COBRA 系列双螺杆真空泵
产品型号:NC 0630
产品简介:

COBRA 系列总览 Busch COBRA 是干式、无油、非接触双螺杆真空泵,分两大产品线: COBRA Industry:工业通用(锂电、光伏、干燥、包装、真空炉) COBRA Semicon:半导体 / 高洁净 / 腐蚀工艺(CVD、刻蚀、Load Lock) 共同核心:无油、耐水汽、抗粉尘、高真空、低振动、长寿命。

详细介绍

Industry 工业级(通用主力)

1)DX / DX PLUS(智能变频・爆款)

  • 定位:**工业,锂电 / 光伏 / 真空炉优先
  • 抽速:650–2000 m³/h
  • 极限压力0.01 hPa
  • 冷却:水冷(均匀控温)
  • NC / NX(标准工业・高性价比)

    • 定位:通用工业、干燥、包装、化工
    • 抽速:NC 110–2500 m³/h;NX 350–950 m³/h
    • 极限压力0.01–0.1 hPa
    • 冷却:水冷 / 风冷可选
    • 核心特点:结构简单、耐用、易维护、成本低
    • 典型型号:NC 0400、NC 0630、NX 0450、NX 0950

    3)NS / NF(小型工业・小流量高真空)

    • 定位:中小系统、实验室、制药、轻化工
    • 抽速:NS 70–600 m³/h;NF 750–950 m³/h
    • 极限压力0.005–0.01 hPa
    • 核心特点:体积小、噪音低(≤58 dB)、安装灵活
    • 典型型号:NS 0070、NF 0150

    4)DH(集成罗茨・大抽速)

    • 定位:大流量工业、镀膜、冶金、锂电
    • 抽速:2700–6200 m³/h
    • 极限压力0.01 hPa
    • 核心特点:内置罗茨增压、抽速大、周期短、变频节能
    • 典型型号:DH 3000、DH 6000

      核心技术特点(全系列通用)

      1. 完全无油・洁净真空
        • 双螺杆非接触、腔体内无油、无油雾污染
        • 免加油 / 换油 / 废油处理,运维成本低
      2. 耐水汽・可凝蒸汽
        • 等温压缩、温升低,可抽饱和水汽、溶剂蒸汽
        • 不怕水,适合高湿工况(对比油旋片 R5)
      3. 抗粉尘・轻微颗粒
        • 间隙设计合理,比旋片 / 爪式更耐脏
        • 一体式螺杆防沉积,适合含微量颗粒工艺
      4. 高真空・大抽速
        • 极限真空可达 0.001 hPa,覆盖中高真空
        • 抽速范围广(70–7000 m³/h),适配不同规模
      5. 低振动・低噪音
        • **自平衡螺杆,振动极小
        • 噪音 58–68 dB,比油旋片低 5–8 dB
      6. 长寿命・少维护
        • 转子不接触,磨损极小
        • 维护周期 8000 小时 +,仅需定期更换进气滤芯

      四、选型速判(一句话选系列)

      • 工业通用 / 包装 / 干燥 → DX/DX PLUS、NC(替代 R5、SECO)
      • 锂电 / 光伏 / 真空炉 → DX PLUS、NX、DH(替代荏原 EV‑M)
      • 化工 / 制药 / 溶剂蒸汽 → NC、BC(防腐)(替代荏原 EST)
      • 半导体 / 镀膜 / 高纯工艺 → DS、BA、BC(对标爱德华 GV、荏原 EST)

      五、关键参数总表(精选型号)

      系列 代表型号 抽速 (m³/h) 极限压力 (hPa) 冷却 噪音 (dBA)
      DX PLUS DX 0650 650 0.01 水冷 ≤62
      NC NC 0630 630 0.01 水冷 65–69
      BA BA 0100 C 100 0.01 风冷 ≤58
      BC BC 0100 F 100 0.01 水冷 ≤60
      DS DS 3010 3200 0.001 水冷 ≤65