一、NK‑8300 系列（铰链式 UHV 膨胀节）

型号口径

• 口径：25A～250A（KF/CF/JIS）
• 典型型号：
  • NK‑8300‑25CF / 40CF / 50CF / 63CF / 80CF / 100CF
  • NK‑8300‑25KF / 40KF / 50KF
  • NK‑8300‑63J / 80J / 100J（JIS 法兰）

核心参数

• 真空度：≤1×10⁻⁸ Pa（UHV）
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 检漏）
• 材质：波纹管 SUS316L/310S；法兰 SUS316L
• 表面处理：电解抛光 Ra≤0.2μm（极低放气）
• 烘烤温度：200℃ 连续（无 O 圈）
• 位移补偿：轴向 ±10～±50mm；角向 ±5°
• 寿命：≥10 万次（UHV 长寿命设计）
• 连接：CF（金属密封）/KF（快卸）/JIS

运用场景

• ✅ 离子注入机束线：UHV 束流传输，200℃烘烤除气，吸收热胀与振动
• ✅ MBE（分子束外延）：生长腔与源炉柔性连接，无碳氢污染
• ✅ UHV 分析设备：XPS/AES/SEM 镜筒与样品台连接，超高真空维持
• ✅ 半导体真空腔隔离：制程腔与泵组间UHV 隔离 + 振动阻断

二、NK‑5600‑UG 系列（法兰式 UHV 柔性软管）

型号口径

• 口径：50A～350A（CF/ISO‑K/JIS）
• 典型型号：
  • NK‑5600‑UG‑50CF / 63CF / 80CF / 100CF / 150CF
  • NK‑5600‑UG‑80ISO / 100ISO
  • NK‑5600‑UG‑100J / 150J / 200J

核心参数

• 真空度：≤1×10⁻⁷ Pa（UHV）
• 漏率：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 检漏）
• 材质：多层波纹管 SUS316L；法兰 SUS316L
• 表面处理：镜面抛光 Ra≤0.4μm；低放气
• 烘烤温度：150℃ 连续（全金属密封）
• 长度：300mm～3000mm（定制）
• 弯曲半径：≥3× 口径（高柔性）
• 寿命：≥50 万次（多层结构耐疲劳）

运用场景

• ✅ 半导体 UHV 制程腔：刻蚀 / 沉积腔大口径 UHV 连接，隔离泵振动
• ✅ 低温真空系统：**‑196℃～150℃** 宽温域，适配冷泵 / 低温靶
• ✅ 大型真空设备：CVD/PVD 主真空管路热膨胀补偿
• ✅ 科研加速器 / 核聚变：束线与靶室UHV 柔性对接

三、UHV 系列 vs 高真空系列（NK‑1100F/1200GS）