Penduroll 摆阀系列（3 子系列：IPV 单工位、3PV 三位可调、APC 压力控制型，泵口排气主力）
1.IPV 单位置摆阀（标准气动全开 / 全关，DN40~DN400 法兰规格）
型号：IPV-40/63/80/100/160/200/250/320/400
参数
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寿命：＜DN350 规格 50 万次、大口径 30 万次；漏率≤5×10⁻¹⁰Pa・m³/s；O 圈 FKM 密封，单螺栓快拆检修
应用
干式泵 / 分子泵 ↔ 工艺腔排气总管、刻蚀机尾气支管隔断、去胶 Ashing 腔体抽气阀
2.3PV 三位摆阀（中间开度可调：全关 / 半开 / 全开，半导体压力微调标配）
型号：3PV-63/80/100/160/200（160A~500A 电控模组）
参数
气动 + 位置传感器，中间开度无极限位，配合 APC 控制器实现腔室真空度闭环调节；寿命 50 万次
应用
PVD 溅射腔体气压微调、CVD 沉积腔体工艺压力精准控制、ALD 前驱体腔调压（半导体成膜核心）
3.APC-Penduroll 智能摆阀（带 LEARN 容积测算功能）
参数：可接 2 路真空规，自动测算腔体容积、电导度 0~100% 连续可调
场景：先进制程 7/5nm 蚀刻机、高压离子注入腔体恒压控制、特种气体负压腔体稳压
矩形插板 Gate Valve（直动插板阀，大腔体主隔离，DN50~DN400 全规格）
型号：GV-DN50/80/100/150/200/250/300/400（气动 / 电动两款）
参数
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漏率：阀体≤4×10⁻¹¹Pa・m³/s；阀体耐温*高 150℃，驱动≤90℃；FKM 全周密封，低粒子掉落
应用
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高温外延炉 / 退火炉主腔体大门隔断、LPCVD 管式炉真空主阀
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封装设备真空烤箱腔体隔离、晶圆键合机真空腔主隔断
四、小型角阀 / 圆形截止阀（小口径气体管路，NW16/NW25/NW40）
型号：AV-NW16/25/40（直角真空角阀）
参数
微型气动，漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，耐氟化 / 氯化工艺气体
应用
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特种气体源柜（SiH₄、WF₆、ClF₃）支管通断、腔体检漏口旁路阀、真空计隔离阀、尾气处理小管路开关
五、CV 系列半导体专用防爆爆破片（泄压**件，5 个子型号，VTEX 原厂**产品线）
全型号：CV 标准型、CV-S 高真空型、CV-I 耐高温型、F/FV 正向型、FS/FVS 复合低压型
1.CV（基础平片型｜半导体腔体标配）
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爆破压力：0.035~0.5bar（矩形）、0.035~1.03bar（圆形）；工作压力≤70% 爆破值；耐温 - 40~250℃
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场景：蚀刻工艺腔、常压 ALD 腔体、废气缓冲罐超压防爆
2.CV-S（预拱型高真空款）
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耐高负压 + 压力脉动，工作压力 75% 爆破压力；适配反复抽真空腔体
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场景：PVD 溅射腔体、分子泵前级缓冲罐、高压气源钢瓶防爆
3.CV-I（带隔热夹层耐高温）
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耐温 - 40~450℃，高温退火炉 / LPCVD 管式炉专用
4.F/FV 高压型：爆破压力 1~10bar，特种高压工艺气瓶（NF₃、HF 钢瓶）防爆
5.FS/FVS 超低爆破型：0.01~0.2bar，低压负压腔体、尾气洗涤塔泄压