一、AMD 系列（气控隔膜阀｜半导体湿法用量*大主力）

【核心结构 & 参数】

【应用场景】

1. 单片晶圆清洗机（RCA 清洗）：切换 SC1/SC2/DHF/SPM 各类清洗药液、DI 超纯水通断；
2. 涂胶显影机 Coater/Developer：光刻胶、显影液、剥离剂精准供液切断（3 通 AMG 用于药液 / 废液换向）；
3. 湿法蚀刻设备：硅片酸蚀、碱蚀药液循环、排液开关；
4. 化学品集中供液 CDS 系统：酸碱药剂储罐后端支路主控阀；
5. 配套：8/12 寸晶圆湿法设备、面板 LCD 湿制程。

1.AMD 系列（主力膜片气控阀，PFA/PTFE 阀体，半导体*通用）

• 型号：AMD00/AMD01/AMD02/AMD03/AMD04（口径 1/4″~1″）
  参数：全 PTFE+PFA 膜片，耐 HF、H₂SO₄、氨水、显影液；耐压 0~0.6MPa，耐温 - 10~90℃；无金属浸润、低析出、Class1 洁净。
  场景：晶圆清洗机、单片式蚀刻机、显影机药液通断、酸碱管路开关。

2.AMB/EMB 波纹管阀（超高纯微量药液）

• 型号 AMB00~AMB03：金属波纹管隔绝，零渗漏，超纯水、超高纯试剂输送；
  场景：CMP 研磨液供给、高纯 DI 水分配、微量药剂配比。

3.PMM 电磁药液阀（电控直动）

• PMM01/PMM02：PFA 阀体，24VDC 电控，小流量药剂精准切断；
  场景：小型湿制程机台药剂支路、实验室晶圆小样设备。