一、5 通先导式气动电磁阀（*常用→驱动 LVQ 药液阀气缸、晶圆机气缸、真空回路）
作用：输出压缩空气，驱动LVQ/LVC PFA 药液阀气动开闭，是 LVQ 阀必备配套电控元件，分 SY、SYJ、VQZ、VFS 四大主力系列
1.SY3000/SY5000/SY7000（半导体设备标配，插装阀岛）
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规格分级
SY3000（阀宽 10mm，微型小流量，接管 φ4/6mm）；SY5000（15mm，行业通用主力 φ6/8）；SY7000（22mm，大流量 φ10/12）
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电气：DC24V（半导体设备标配），单线圈 / 双线圈；功率 1.2~1.8W，低功耗
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安装：插装式汇流板阀岛，多阀集中布线，总线通讯（EX120 串行模块）
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应用
✅ 单片清洗机：驱动 LVQ20/30/40 系列 PFA 药液阀（HF、BOE、SC1 药剂通断）
✅ CDS 化学品供液柜：SY5000 阀岛整组控制多路 LVQ 阀体
✅ 晶圆机械手、升降气缸、真空破真空控制
2.SYJ3000/5000（超薄微型，狭小阀仓专用）
阀宽仅 10mm，体积比 SY 更小，湿法设备紧凑阀块、小型药剂支路，配套小口径 LVQ20 阀体。
3.VQZ 系列（无铜洁净款→12 寸先进制程专用）
阀体无铜无锌析出，CLASS1 洁净室认证，高纯化学品管路配套 LVQ-Z 高纯扩口阀，避免铜离子污染晶圆。
4.VFS/VFR 大流量系列（VFS1000~6000）
大口径 Rc1/4~Rc1/2，大流量出气，CDS 主管路大口径 LVQ50/60 总阀驱动、大型槽体气动切断。
二、3 通直动式微型电磁阀（真空 / 微量气控，半导体真空吸附、小先导）
1.VO307 系列（半导体爆款 3 通阀）
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3 通结构：P 进气、A 出气、R 排气，可 NC 常闭 / NO 常开切换；DC24V，接管 φ4mm
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场景：晶圆真空吸盘吸附 / 破真空、LVQ 阀先导小控气、IPA 吹扫气路、臭氧管路
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定制款 X395：耐臭氧、长寿命，刻蚀机专用。
2.V100/SX10 超微型阀（阀宽 7~10mm）
超小体积 0.1~0.35W 超低功耗，高频切换，微量吹气、微量药剂先导控制。
三、2 通流体电磁阀（直接通断液体：DI 纯水、酸碱药液，分金属阀体 + PFA 全氟阀体 LVM）
1.LVM 系列（和 LVQ 同场景・半导体药液专用直动电磁阀，PFA/PTFE 过流）
LVM = 小型药液电磁阀，小流量药剂直接通断，无需气源，电控直接走药液
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主流型号：LVM07、LVM095、LVM105、LVM155
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材质：过流腔体 PFA+PTFE 膜片，耐 HF、磷酸、氨水、BOE 蚀刻液，SEMI 洁净
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接管：φ3/4/6mm PFA 软管，0~0.5MPa，耐温 0~95℃
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应用：微量显影液、剥离液小支路、超纯水支路（无法布置气源的小型阀位，替代小规格 LVQ）
2.VX2/VX3 金属阀体 2 通阀（不锈钢 / 黄铜，DI 纯水、冷却水、非腐蚀纯水）
过流 SUS316，用于设备冷却水、工艺纯水，不接触强酸 HF，湿法机冷却水路标配。
四、LVQ 药液阀配套电磁阀选型对照表（核心选配）
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LVQ 阀体型号
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配套驱动电磁阀
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用途
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LVQ20V（φ6 小管径）
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SYJ3140、VO307
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微量药剂、IPA、小支路喷液
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LVQ30V/Z（φ10）
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SY5120-5GD
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清洗机主力药剂阀，HF/SC1
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LVQ40V/Z/HV（φ12）
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SY7120、VQZ3000
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CDS 供液、BOE 高纯药液
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LVQ50/60 主管阀
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VFS3120/VFR
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化学品柜总管切断
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五、半导体整机应用汇总
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单片式湿法清洗机：SY5000 阀岛 + VO307+LVM，整套驱动全机 LVQ 药液阀组；
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CDS 化学品供液系统：SY7000+VFS 大阀，驱动 LVQ-HV 高背压主管阀；
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光刻显影 / 剥离设备：SYJ 微型阀 + LVM 微量药液阀；
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真空制程：VO307、V100 控制真空吸附与破真空。