一、XL 铝制 L 型高真空角阀（主力用量*大，KF 法兰：16/25/40/50/63/80/100/160）

1.XLA/XLAV 系列｜单作用常闭・波纹管密封（高纯腔体**，无轴泄漏）

标准型号：

关键参数：

• 密封：全不锈钢波纹管（可单独更换）、零外泄漏＜1×10⁻⁹Pa・m³/s
• 真空：1×10⁻⁶Pa～大气压；工作温度 5~60℃，高温定制 5~150℃（带加热圈）
• 流导 (L/s)：16→5、25→14、40→45、50→80、63→160、80→200、100→300、160→800
• 驱动：先导气压 0.4~0.7MPa，单作用弹簧复位 NC

应用场景：

2.XLC/XLCV 系列｜双作用・波纹管密封（断电保位，无弹簧）

• 参数：双气控开闭、失气保持阀位，其余真空 / 温度 / 流导同 XLA
• 场景：超高真空分子泵前端阀、离子注入机隔离阀（断电防腔体返大气）。

3.XLF/XLFV 系列｜单作用常闭・O 型圈轴封（高速高频、经济型）

• 参数：O 圈密封、动作寿命＞500 万次、流导同 XLA，极限真空 5×10⁻⁵Pa（低于波纹管）
• 场景：Loadlock 预抽、传输腔体小抽气、单片清洗机真空管路（高频开关）、低成本量产设备。

4.XLG/XLGV｜双作用 O 圈密封

• 参数：双气控保位、O 圈密封
• 场景：光伏镀膜设备、低端 PVD 腔体隔离。

5.XLD/XLDV｜二段节流角阀（快慢抽两级排气，防腔体冲尘）

• 参数：小预抽孔 + 主阀两级开启，缓慢泄压防晶圆颗粒扬起
• 半导体核心：Loadlock 腔体专用预抽阀（硅片进出仓必备）。

6.XLJ 系列｜带破真空先导阀角阀（内置放气通道）

• 参数：阀体自带小放气阀，关阀后自动缓慢破真空
• 场景：机械泵前端阀，停机防泵油倒灌进腔体。

7.XLH｜手动波纹管角阀（检修切断）

• 场景：真空管路检修旁路阀、泵组隔离手动阀。