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SENGOKU千石电热GR系列 石墨薄膜加热器
产品型号:GR-S
产品简介:

千石半导体加热主力分四大产品线:石墨瞬热薄膜加热器(核心主力)、PI 聚酰亚胺柔性加热膜、精密筒式电热管、腔体环形加热模组,全系列低析出、高洁净、Class10 洁净室、真空兼容,适配湿法清洗、刻蚀、CVD、晶圆吸盘、药液管路、IPA 烘干、光刻烘烤。

详细介绍
ENGOKU 千石 GR 石墨薄膜加热器全品类实拍(半导体专用 PI 基底超薄石墨加热膜)
1、GR-S 方形标准款(晶圆吸盘 / 加热台主力)
  • 基材:透明 / 琥珀色 PI 聚酰亚胺薄膜,内部石墨发**路,厚度 0.2~0.35mm,超薄可贴合;
  • 用途:8/12 寸晶圆 ESC 吸盘、光刻烘烤台、单片清洗承载台恒温。
  • GR-F 长条带状款(管路 / 风刀伴热)
    • 长条柔性结构,宽度 50/100/200mm 非标裁切,DC24V 居多;
    • 用途:IPA 烘干风刀、药液管路外壁保温、清洗槽侧壁伴热。

    3、GR-R 环形圆环款(阀门 / 法兰圈保温,适配 SMC LVQ/XL 真空阀)

    • 圆环开孔结构,包裹阀体、石英炉管外圈,防止药液结晶堵阀;
    • 适配:LVQ 药液阀阀体保温、真空腔体法兰防结露。

    补充:千石 GR 产品特征

    1. 外观:琥珀色 PI 绝缘基材 + 黑色石墨发热回路,引出两根镀银导线,洁净低析出,适配 Class10 洁净室;
    2. 电气:半导体设备常用 DC24V(和 VO307 电磁阀共用电源),瞬时升温快;
    3. 区分:区别厚体石墨块,GR 全系列是薄膜柔性型,可曲面贴合。

    主力型号:GR-S、GR-F、GR-R、GR-T、GR-C 定制圆形


    1. GR-S(方形标准片)
      • 规格:20×20~300×300mm,厚度 0.18~0.35mm
      • 参数:0.2s 极速升温至 500℃,极限发热体 1300℃;电压 DC12/24/48V、AC100/200V;功率密度 0.5~3W/cm²;温差 ±1.5℃;真空低脱气、PI 基材耐 HF/IPA 弱酸
      • 应用:晶圆静电吸盘 ESC 加温、单片清洗机晶圆承载台、光刻胶烘烤、MEMS 加热台(4/6/8/12 寸晶圆)
    2. GR-F(长条带状)
      型号 GR-F050、GR-F100、GR-F200(宽度 50/100/200mm,长度定制)
      • 参数:连续寿命≥10000h,耐臭氧、耐氟系工艺气体
      • 场景:药液槽侧壁伴热、输送管路保温、IPA 热风烘干模组
    3. GR-R(环形圆环款)
      GR-Rφ30~φ250(内径 30~250mm)
      • 应用:石英炉管外壁环绕加热、腔体法兰恒温、真空阀阀体伴热(LVQ 药液阀 / XL 真空阀阀体保温)
    4. GR-T(异形定制):不规则腔体、边角异型加热,刻蚀腔体局部控温