千石产品特点

1. 材质：PI 聚酰亚胺（卡普顿），耐温 - 70~220℃，超薄 0.05~0.2mm、任意曲面贴合
2. 结构：蚀刻镍铬合金发**路，引线镀锡 / 高温线束，可选预埋热敏电阻测温
3. 应用：爱普生 / 荏原真空泵腔体保温、晶圆测试设备、光学镜头除雾、实验室分析仪器恒温
4. 规格：标准方形 / 圆形 / 异形均可定制，AC/DC 低压居多（12V/24V/110V/220V）

二、PI 聚酰亚胺柔性薄膜加热片（SP 系列，耐化学腐蚀・湿法设备标配）

型号：SP-M（标准）、SP-H（高温型）、SP-V（真空低出气型）

1. SP-M 标准 PI 膜
   厚度 0.2~0.5mm，温度上限 220℃，DC24V 为主流，功率 0.3~1.2W/cm²
   • 用途：PFA 药液罐外壁加热、HF/SC1 药液管路保温、CDS 化学品柜管路伴热（配套 LVQ 药液阀管路）
2. SP-H 高温 PI：上限 300℃，耐强酸碱，刻蚀废气管路加热
3. SP-V 真空专用：超低析出，高真空腔体内壁辅热（CVD/Loadlock 腔体保温）

三、CH 系列精密筒式加热棒（Cartridge，插入式加热・槽体 / 石英管内置）

型号 CH-S（标准）、CH-H 高温、CH-C 洁净半导体款（SUS316L 无缝套管）

1. CH-S 微型 φ3~φ8mm：短棒 10~100mm，DC24V，5~150W
   场景：小型石英浸泡槽内置加热、微量药剂小槽加热
2. CH-C 洁净级 φ10~φ20mm：高纯氧化镁绝缘、无杂质析出，100~800W，*高 550℃
   场景：半导体清洗机主槽（BOE/HF/ 氨水槽）浸入式加热、石英工艺管内置热源
3. CH-H 高温筒式：800℃耐温，扩散炉辅热、高温石英腔体加热

四、RH 环形 / 法兰加热器（炉管外圈包裹・立式炉 / 扩散炉）

• 参数：分段控温（2~3 区），控温均匀度 ±2℃，*高 650℃
• 应用：立式氧化炉 LPCVD 炉管外壁加热、晶圆退火炉外围保温

五、细分设备选型对照表（对应 SMC LVQ/VO307/XL 真空阀配套）