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KYOCERA京瓷 薄膜MIC基板
产品型号:AO493O
产品简介:

京瓷 KYOCERA 薄膜 MIC 基板(微波集成电路薄膜陶瓷基板) MIC = Microwave Integrated Circuit 微波薄膜混合基板,核心是99.6% 高纯氧化铝抛光陶瓷基材,搭配溅射薄膜金属化、Ta₂N 薄膜电阻、MIM 薄膜电容,专为射频 / 毫米波功放、MMIC、雷达、5G 基站、射频功率管配套电路基板,和前文射频功率陶瓷封壳配套使用。 FET:场效应晶体管 H

详细介绍
KYOCERA京瓷  薄膜MIC基板


■薄膜电阻

电阻材料 Ta2N
方阻(Ω/SQ) 10 to 100
阻值温度系数(ppm/K)-25℃到85℃ -100+/-20
无公差修整 +/-20%
有公差修整 +/-3%
长期可靠性
高温放置(125℃,1000小时)后的阻值变化
0.4% max.

一、基础基材材料型号(MIC 基板陶瓷母材,标准牌号)

1. AO493H(主力 MIC 标准基材,99.6% 高纯氧化铝抛光)

  • 介电常数 εr=9.6@1MHz,损耗极低、表面镜面抛光(Ra<0.02μm)
  • 导热 14W/mK,热膨胀 7.1ppm/℃
  • 标准厚度:0.25 / 0.38 / 0.635mm
  • *大尺寸:120×120mm 方形
  • 适用:1–40GHz 通用射频 MIC、LDMOS/GaN 功放匹配基板、24G/77G 车载雷达

2. AO493O(超高纯等离子级氧化铝,高频低损耗升级款)

  • 晶粒更细、杂质含量极低,微波插损进一步降低
  • 适用:Ka/Ku 毫米波、卫星通信、**雷达高频 MIC

3. AO700 / AO800(低介电灰色陶瓷,毫米波专用基材)

  • εr≈7.0,高频信号串扰极小
  • 适用:30–80GHz 毫米波 MIC、5G 毫米波基站、短距雷达

4. AN216A / AN230(氮化铝 AlN 高导热 MIC 基板,大功率散热款)

  • 导热 170/230W/mK,解决大功率 GaN 功放散热
  • 适用:百瓦级射频功率模组、宏基站功放 MIC 基板

5. 补充对比基材(不主推 MIC,仅厚膜用)

AO476X/AO476T(96% 氧化铝,表面粗糙度高,不用于薄膜 MIC

二、薄膜线路金属化体系(标准膜层结构,无独立型号,分层工艺规格)

1 层膜(简单低频射频)

底层 Ti/W 阻挡层 + 厚 Au 导体
  • *小线宽 / 线距:20μm / 15μm
  • 线路精度 ±5μm

2 层膜(主流 MIC 单层布线,90% 射频产品)

Ti/W 基底 → Cu 导电层 → 表层 Au 键合层
  • 镀金厚度可选 1.5μm / 3μm
  • 支持金丝 / 铝丝 / 铜带键合

3 层膜(多层交叉布线,复杂毫米波多通道)

底层接地层 + 中间信号层 + 顶层器件焊盘,带桥架跨线结构
  • *小线宽 / 线距:30μm / 20μm

特色导电结构(MIC 标配工艺)

  1. 通孔金属化:孔径 Φ0.1~4mm,孔壁全覆盖金属,正反地导通
  2. 城堡侧边焊盘(Castellation):基板侧边半圆孔金属化,SMT 直接贴装接地,无需引线
  3. 桥架跨线:绝缘介质隔离交叉走线,减少跳线,简化射频匹配电路

三、薄膜无源元件标准参数(集成在 MIC 基板内部)

1. Ta₂N 薄膜电阻(全系 MIC 标配)

  • 方阻:10~100Ω/□
  • TCR 温漂:-100±20 ppm/K(-25~85℃)
  • 激光修整后公差 ±3%,不修 ±20%
  • 高温可靠性:125℃ 1000h 阻值漂移≤0.4%
  • 用途:射频衰减器、偏置限流、匹配负载电阻

2. MIM 薄膜金属绝缘金属电容

介质 Si₃N₄/SiO₂,容量 0.05–50pF,低漏电、高频线性好
  • 适用:隔直电容、射频匹配谐振电容

对应配套器件 & 应用场景(和前文射频封壳联动选型)

MIC 基板系列 匹配射频封壳 典型设备
MIC-038 标准氧化铝 KD-H 贴片功率陶瓷壳、KD-DB CQFP 5G 微基站功放、24G 车载雷达、MMIC 放大器
MM-MIC 毫米波低介电 REFR/SGMR 毫米波无引线封壳 77GHz 车载雷达、Ka 波段安防雷达、毫米波通信
HP-MIC AlN 高导热 TO254/TO257 大功率陶瓷管壳、KD-H 大腔体 宏基站 LDMOS、机载脉冲雷达、100W+ GaN 功率管
MIC-025 超薄款 KD-VB 微型射频封装 NB-IoT 发射模块、TWS 射频、微型信号放大