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KYOCERA京瓷 探针卡用陶瓷基板
产品型号：AO493H 氧化铝
产品简介：

京瓷，为DRAM，闪存，逻辑装置（多个DUT）等晶圆探针卡提供带金属化的单层薄膜或多层薄膜的陶瓷多层基板。

详细介绍

KYOCERA京瓷  探针卡用陶瓷基板

探针卡陶瓷基板分两大功能品类：
  1. 探针导向板（Guide Plate）：氮化硅 Si₃N₄薄板，探针针孔定位、限位（**先进制程主力）
  2. 多层薄膜陶瓷信号基板（Probe Card Substrate）：氧化铝 / AlN 多层 HTCC，承载薄膜布线、传输高速测试信号，连接探针针座与测试机台
1）探针导向板（限位薄板）
材质型号 核心优势 适用制程 典型厚度
StarCeram N3000 P 超高强度、低 CTE、超薄可微打孔 3~28nm 先进逻辑 / 存储、毫米波芯片 0.125~0.3mm
N3000 P-H 适配宽温高低温测试 车规芯片、可靠性高温探针台 0.25~0.5mm
AO493H 氧化铝 低成本 28nm 以上成熟制程功率器件 0.38/0.635mm

2）信号传输多层陶瓷基板

基板系列 基材 测试芯片类型 核心特点
PC-AL-300S AO493H DRAM 内存 单层薄膜、高性价比
PC-AL-FLASH AO493O 3D NAND 闪存 低杂质、抗脉冲噪声
PC-ML-LOGIC AO493H/AN230 CPU/GPU/ 先进逻辑 多层布线、多 DUT 并行
PC-HP-ALN AN230 SiC/IGBT 功率半导体 超高导热、大电流耐受
PC-MMW AO700 毫米波雷达射频芯片 低介电、高频低损耗