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进口EYE岩崎 弯曲型BEND水冷光刻灯
产品型号：H12-L41W-BEND
产品简介：

EYE岩崎 H-W水冷高压汞灯 半导体专用超高压曝光光源（晶圆 / 光刻核心）超高压水银曝光灯（步进机 / 光刻机专用） 超高光强、光谱稳定，用于硅晶圆线路曝光、LCD 面板光刻、PCB 干膜曝光 弯曲灯头特殊结构，适配光刻机光学光路，洁净室专用水冷款无气流干扰
详细介绍

EYE岩崎  H-W 水冷高压汞灯

一、标准直型 H-W 水冷曝光灯（市面流通标准款）

型号 额定功率 发光弧长 (mm) 灯管全长 (mm) 功率密度 典型适配产线
H015-L31W 1500W 125 255 120W/cm 实验室小样曝光、小型 IC 打样
H02-L21W 2000W 250 350 80W/cm 小尺寸 FPC、薄膜低温曝光
H03-L31W 3000W 250 380 120W/cm 中小单面板、线路板小批量产线
H04-L21W 4000W 330 450 120W/cm 标准 PCB 内层 / 外层曝光机主流款
H045-L31W 4500W 375 505 120W/cm 中型 PCB 自动曝光线
H056-L21W 5600W 470 590 120W/cm 大板 PCB、背光模组光刻
H06-L31W 6000W 500 630 120W/cm LCD 中小尺寸彩膜、硬板量产
H09-L31W 9000W 750 880 120W/cm 中大尺寸 LCD 基板、大幅 PCB
H13-L31W 13000W 1100 1230 120W/cm 大尺寸 LCD 面板、12 寸晶圆配套曝光
H15-L31W 15000W 1250 1380 120W/cm 超宽幅 LCD、大板 PCB 连线产线
H20-L31W 20000W 1600 1730 120W/cm 超大尺寸面板、卷对卷薄膜曝光
H16-L41W 16000W 1067 1210 150W/cm 宽幅 PCB、TV 面板阵列曝光
H16-L41WL 16000W 1067 1300 150W/cm 加长灯头款，适配进口大型曝光机
H16-L41WLL 16000W 1067 1380 150W/cm 超长双加长端子，定制光路设备
H135-L41W 13500W 1020 1160 132W/cm 国产大幅面自动曝光机专用

二、弯曲型 BEND 水冷光刻灯（步进光刻机 / 高精度 IC 专用）

弯管适配光学反射光路，用于 8/12 寸晶圆芯片光刻
型号 功率 发光弧长 应用场景
H04-L31W-BEND 4000W 310mm 小型步进式光刻机、分立器件晶圆
H06-L31W-BEND 6000W 500mm 中端 IC 封装、功率器件光刻
H12-L41W-BEND 12000W 1067mm ** 12 寸晶圆步进机、存储芯片制程

补充说明

  1. 命名规则：H = 高压汞灯；数字 = 功率百瓦级；Lxx = 发光长度英寸；W = 水冷；BEND = 弯管；L/LL = 加长灯头端子
  2. 寿命标准：原厂额定 800–1000h，24h 量产工况推荐 700h 更换
  3. 配套区分：同尺寸 HQ-W 为高输出增效款，紫外照度提升 20%，可直接替换上表对应 H-W 型号
  4. 水冷结构：双层石英套管，两端金属通水嘴，区别于风冷单层灯管，杜绝基板高温变形