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日本Fluoro福乐FV小型无油隔膜真空泵
产品型号：FV-W
产品简介：

专为半导体无尘车间（Class100/1000） 设计的干式隔膜真空源，配套自家 C/F 系列晶圆真空吸笔使用，用于硅片、芯片、Mini LED、玻璃基板、光学元件拾取转运，全程无油、防静电、低微粒，杜绝油污污染晶圆导致良率报废
详细介绍
日本Fluoro福乐FV小型无油隔膜真空泵


核心工作原理

无油多级隔膜结构，电磁驱动氟橡胶隔膜往复形变，依靠单向阀完成吸气 / 排气；泵腔完全不添加润滑油，从根源消除油雾、碳粉污染，属于干式洁净真空设备

半导体专属核心优势


  1. **洁净，双向 HEPA 过滤
    进出气双端标配 0.3μm HEPA 滤网，过滤效率 99.97%；机身带透明视窗，肉眼直观查看滤芯积尘，防止粉尘回流污染晶圆；FV-10 除外无观察窗。
  2. ESD 防静电整机设计
    外壳导电尼龙材质，标配接地端子，泄放静电，避免静电击穿芯片、超薄晶圆；搭配福乐防静电真空吸笔整套无尘防静电方案。
  3. 微型轻量化、低功耗静音
    整机仅 0.8–1.25kg，桌面直接摆放，无需空压机、冷却水；运行噪音＜60dB，适合探针台、检测工位、实验室长期 24h 连续运转。
  4. 吸力精准可控，适配精密拾取
    负压 0~-85kPa 无级调节，可抓取 0.1g 微小裸芯片至 500g 整片 8/12 寸晶圆，吸力柔和不划伤超薄硅片、软基板。
  5. 低维护长寿命
    无齿轮、无油润滑，仅定期更换隔膜与滤芯；连续运行寿命≥8760 小时，半导体产线运维成本极低。
  6. 洁净室合规
    无挥发离子、无金属析出，适配光刻、探针、封装、湿法后段全工序
    项目 FV-10（入门微型） FV-30（产线通用款） FV-60（高真空主力） FV-XP（大流量并联款） FV-W（带释放负压款）
    极限负压 -3~-14kPa -50kPa -85kPa -60kPa -80kPa
    抽气流量 2.8L/min 2.5L/min 2.5L/min 5.0L/min 2.5L/min
    额定功耗 5W 5W 10W 10W 10W
    整机重量 约 500g 800g 1250g 1300g 1280g
    HEPA 视窗 无 有 有 有 有
    核心适配场景 2–4 寸小片、实验室 die 拾取 6 寸晶圆、探针台、常规封装 8/12 寸整片晶圆、薄硅片 多吸笔并联、自动化设备 自动上下料（一键放片）
    适用吸笔 C001 微型吸笔 C002 标准防静电吸笔 C003 大吸力吸笔