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日本Fluoro福乐 MFNA专用手动晶圆预对准机
产品型号:MFNA-200
产品简介:

MFN/MFNA 是福乐半导体无尘车间专用手动晶圆预对准机,行业统称缺口寻边器 / Notch 对准器,用于硅片贴膜、研磨、探针、切割前统一晶圆缺口朝向,适配 2~8 寸标准硅片,全机防静电、低发尘、无金属划伤晶圆,配套自家 FV 系列隔膜真空泵、C/F 吸笔成套使用

详细介绍
日本Fluoro福乐 MFNA专用手动晶圆预对准机


命名区分(MFA / MFNA 同属 MFN 产品线)

  1. MFA-B 系列:基础标准款,小尺寸 2~6 寸晶圆
  2. MFNA 系列:加长滚轮强化款,主力 8 寸(200mm)机型,市面*常用型号 MFNA-200

全型号尺寸对照表

型号 适配晶圆尺寸 晶圆规格
MFA-50B 2 寸 50mm
MFA-75B 3 寸 75mm
MFA-100B 4 寸 100mm
MFA-125B 5 寸 125mm
MFA-150B 6 寸 150mm
MFNA-200 8 寸 200mm

三、核心材质与防静电特性

  1. 主体框架:导电 MC 尼龙,体积电阻率 10⁶Ω/cm,持续泄放静电,杜绝静电击穿芯片 / 超薄硅片
  2. 接触滚轮:防静电聚氨酯软滚轮,无硬质金属,旋转不刮伤晶圆镀膜、氧化层
  3. 轴承结构:精密静音轴承,低摩擦、低微粒产生,满足 Class100/1000 无尘室标准
  4. 无粘接装配:插拔式滚轮模组,拆卸清洗方便,无胶水析出离子污染晶圆化工仪器网

四、核心功能与工作原理

  1. 人工放入单片晶圆,转动侧边手轮带动滚轮旋转;
  2. 滚轮自动识别晶圆 Notch 缺口 / Flat 平边,卡定统一角度;
  3. 快速标准化定位,保证后续贴膜、探针台、切割机进料角度一致,降低工艺**;
  4. 纯机械手动结构,无需外接气源、电源,桌面小型摆放,适配实验室、小型产线工位。

五、MFNA-200(8 寸主力款)关键参数

  • 适配:8 英寸 200mm 硅片(超薄 / 厚硅片通用)
  • 整机尺寸:宽 290 × 深 190 × 高 143 mm
  • 整机重量:1.8 kg,轻量化桌面放置
  • 定位精度:缺口角度 ±1° 以内
  • 工作温度:0~40℃,无尘车间常温使用
  • 耗材:聚氨酯滚轮(定期更换,减少颗粒)

六、半导体应用工序

  1. 晶圆研磨 / 抛光:统一缺口方向,保证研磨纹路均匀
  2. 贴膜工序:蓝膜 / UV 膜贴合前预对准,防止贴膜偏移
  3. 探针测试:探针台进料前置定位,提升针测良率
  4. 晶圆切割 / 划片:切割机标准上料角度,减少崩边
  5. 实验室研发:2~6 寸小片研发、芯片封装、光学基板定位