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BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计
产品型号：SLAMF51
产品简介：

SLAMf 系列弹性体密封压力控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列热质量流量计和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品先进的数显电子元件并确保气体和液体质量流量压力（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。
详细介绍


BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计
特点
  • NEMA4X/IP66 级加固外壳
  • 满量程流速高达 50 lpm
  • 适用的压力测量额定值范围宽 - 1500 至高达 4500 psig
  • 拥有危险区域使用认证，Class II & Class III，Division 2/Zone 2
  • 耐用、稳定的金属顶盖可防止设备在安装期间受损
  • 可单独轻松访问的诊断/维护端口
  • 包括 DeviceNet™、EtherCAT®、Profibus® 和 RS-485 模拟接口在内的各种通信选件
SLAMF = Sealed Large Area Mass Flow，基于 SLA5800 内核，IP66/NEMA4X 户外 / 恶劣工况加固款，分流量控制器 5XX（带阀）、流量计 6XX（无阀）、压力控制器 10/20三大类，覆盖 0.003~36000 slpm 全量程。

一、主干型号总表（流量区间 + 耐压）

1）MFC 流量控制器（带阀，50/51/53）

基础型号 类型 N₂标准量程 *大耐压 量程比
SLAMF50 小流量控制器 0.003 ~ 50 slpm 1500 psi / 100 bar 100:1
SLAMF51 中流量控制器 15 ~ 200 slpm 1500 psi / 100 bar 50:1
SLAMF53 大流量控制器 100 ~ 2500 slpm 1000 psi / 69 bar 50:1

2）MFM 流量计（无阀，60/61/63/64）

基础型号 类型 N₂标准量程 *大耐压
SLAMF60 小流量流量计 0.003 ~ 50 slpm 1500 psi
SLAMF61 中流量流量计 15 ~ 200 slpm 1500 psi
SLAMF63 大流量流量计 100 ~ 2500 slpm 1000 psi
SLAMF64 超大流量流量计 300 ~ 36000 slpm 低压法兰款

3）同系列压力控制器（非流量 MFC）

  • SLAMF10：上游压力控制器
  • SLAMF20：下游压力控制器

SLAMF vs AMF vs SLA5800 核心区分

项目 SLAMF AMF SLA5800
防护等级 IP66/NEMA4X 防水防尘 普通室内无高防护 室内标准工业
机身尺寸 标准工业机身 超迷你小型 标准机身
流量范围 0.003~36000 slpm 全覆盖 仅 0.005~27 slpm 小流量 0.003~2500 slpm
外壳 金属密封防水外壳 小型塑料上盖 普通塑料上盖
适用场景 户外、清洗工况、燃料电池、化工、锂电、暖通 实验室、小型镀膜、微型气柜 标准半导体洁净车间
耐压上限 *高 4500psi 高压定制 1500psi *高 4500psi