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BROOKS布鲁克斯 GF100流量控制器和流量计
产品型号：GF120XSL
产品简介：

GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度。
详细介绍

BROOKS布鲁克斯 GF100流量控制器和流量计

特点
  • 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
  • 稳定时间：Settling times: 300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 second 秒
  • 满量程流速高达 300 slpm
  • 全金属密封流路：可选择采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面处理的流路
  • 耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性
  • MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
  • 本地显示屏
  • 可选 SDS 气体输送
  • DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口
一、主干基础型号总表（功能 + 流量区间）
基础型号 定位 标准 N₂量程 核心特性
GF100 标准通用金属密封 MFC/MFM 3 sccm ~ 55 slpm 常规响应，10μ Ra 流道，全系基础款
GF101 大流量金属密封 MFC 55 slpm ~ 300 slpm 大流量阀体，适配高载气
GF120 SDS **输送系统（低差压） 3 sccm ~ 55 slpm SDS 低压降，分 XSD/XSL 细分
GF120XSD SDS 微流量款 4 ~ 25 sccm 微量工艺、ALD 小流量
GF120XSL SDS 中小流量款 >25 sccm ~ 1 slpm 薄膜沉积标准 SDS
GF121 SDS 大流量款 55 ~ 300 slpm 大流量 SDS 供气
GF125 PTI 抗压力波动型 3 sccm ~ 55 slpm 压力瞬变抑制，多阀路串扰工况
GF126 PTI 大流量款 55 ~ 300 slpm 大流量 + 抗压力冲击
区分：GF1XX = 常规金属密封；GF12X = 带 SDS 低压输送 / PTI 抗压力波动增强版
GF100 系列核心关键参数
  1. 密封：全金属无橡胶，哈氏合金传感器 + 阀座，耐 Cl₂、WF₆、HF 等腐蚀气体
  2. 零点漂移：年漂移≤±0.15% FS，极低阀门泄漏≤0.15% FS，减少首片效应
  3. 响应速度：微流量 300ms，中流量 400~500ms，大流量 < 700ms
  4. MultiFlo：免拆设备切换千余种气体，多量程一键切换
  5. 量程比：标准 100:1，低设定 2~100% 可控
  6. 耐压：标准 150 psi，定制高压款可选