BROOKS布鲁克斯 GF080金属密封式流量计
特点

• 长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
• 1 秒内稳定
• 全量程流量可达55升/分钟
• 全金属密封流路 - 16µ 英寸 Ra 表面处理
• 耐腐蚀 Hastelloy® 传感器可在较低温度下工作，适用于易发生热分解的气体
• 可编程 MultiFloTM 功能 - 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
• 通过有源温度补偿实现的**温度系数规范
• 内嵌式常规自检功能和独立的诊断/维护端口
• 带有 VCR 配件的细线体设计
• DeviceNetTM、Profibus®、RS-485 和模拟接口

一、主干基础型号区分

基础型号	设备类型	N₂标准量程	阀体规格
GF080	MFC 带阀控制器 / MFM 无阀流量计	3 sccm ~ 55 slpm	小阀体
GF081	MFC 带阀控制器 / MFM 无阀流量计	55 ~ 300 slpm	大流量阀体

命名说明：行业常简写为 GF80、GF81，完整型号前缀为 GF080、GF081；无 GF120/125 等同系列增强型号。

GF080 系列核心参数

1. 密封：全金属无橡胶密封，哈氏合金传感器 / 阀座，兼容绝大多数腐蚀、高纯特种气体
2. MultiFlo 四代：内置千种气体数据库，免拆切换量程与气体
3. 响应稳定时间：＜1s（GF100 为 300ms，GF080 响应略慢）
4. 量程比：标准 100:1，5%~100% 稳定可控
5. 精度：35~100% FS ±1% SP；5~35% FS ±0.35% FS
6. *大耐压：150 psi（10bar）
7. 零点稳定性：年漂移＜±0.5% FS（GF100 为≤0.15% FS，**工艺优先 GF100）