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BROOKS布鲁克斯 SolidSense II® 压力传感器
产品型号：GP
产品简介：

通过准确稳定的超高纯控制，将工艺精度*大化 就许多行业使用的超高纯和特种气体进行压力测量时，压力传感器必须保持稳定性和准确性。为此，布鲁克斯仪器 SolidSense II® 压力传感器将无焊接耐腐蚀材料与拥有出色零点稳定性和精度（小于满量程 0.25%）的设计相结合。 我们避免了零点、量程漂移、热漂移问题以及导致竞争性传感器需要维护和停机的案例压力等问题。相反， 仪器具有一个易于维护的强
详细介绍

BROOKS布鲁克斯 SolidSense II® 压力传感器

特点
  • 材料：高温退火的 VIM-VAR 316L 不锈钢机身，一体成型的机加工传感器
  • 无焊缝或不同材料的接头
  • 压力范围：30 到 3000 psi （满量程）
  • 型号适用于集成显示器或全功能可编程显示器
  • 数字热补偿采用多点温度补偿法
  • 专有的微加工硅应变计可达到极低的零点漂移
  • 全吹扫式流路可彻底去除残留气体
  • 输出：4 - 20 mA，0 - 10 Vdc，0.05 - 5.05 Vdc
优势
  • 光滑的表面处理工艺和耐腐蚀材料可确保测量环境无污染物存在 – 非常适用于各种半导体和工业应用
  • 耐氢脆化，使用寿命更长
  • 长期可重现型传感器在各种温度下均可提供可靠性能
  • 优异稳定性可保障设备精度
  • 无需初始零点调节，缩短了校准时间
  • 两组准确匹配的应变式传感器即可确保感测性能
  • 传感器连接件采用玻璃熔制接合，可消除应力延长使用寿命
  • 数字式温度补偿可在整体温度范围内提升热稳定性

三大主干基础型号区分

基础型号 结构 *大量程 湿材 核心功能 典型场景
GF 无显示屏，Dead End 单端盲孔 3000 psi VIM-VAR 316L 不锈钢 标准高纯测压，无开关 晶圆气柜、MFC 上游 / 下游监测
GI GF 同本体，集成旋转数字显示屏 3000 psi 316L 不锈钢 本地实时读数，无开关 现场需要就地显示的供气面板
GP 盲孔 / 直通可选，可编程压力开关 4000 psi 316L 不锈钢 2 路可编程报警触点 高低压联锁、切断阀联动
GR GP 本体 + 集成旋转显示屏 4000 psi 316L 不锈钢 就地显示 + 压力开关 气柜**联锁面板
GS 盲孔 / 直通，哈氏合金 C22 湿材 4000 psi 哈氏合金 C22 耐强腐蚀特种气体（Cl₂、WF₆、BCl₃）
核心性能参数
  1. 精度：±0.25% FS BFSL（全量程）
  2. 响应速度：＜5ms
  3. 零点温漂：≤0.02% FS/℃（多点数字温度补偿）
  4. 耐压：
    • 耐压 Proof：200% FS（≤2000psi）；150% FS（＞2000psi）
    • 爆破压力：400% FS
  5. 流道：一体机加工无焊缝 VIM-VAR 不锈钢，SEMI F20 高纯标准
  6. 内壁抛光：4μ Ra（超高纯腐蚀气）/10μ Ra（通用高纯）
  7. 工作温度：-29℃ ~ 82℃；补偿区间 - 20℃~60℃

九、SolidSense II 系列选型对照表（与 MFC 配套区分）

型号 适用气体 配套 MFC 是否带开关 是否带显示屏
GF-D 普通高纯 N₂/Ar/H₂ GF080、SLA5800、AMF ❌ ❌
GI-D 普通高纯，需就地读数 GF100、SLAMF ❌ ✅
GP-D 普通高纯，高低压联锁 全系 MFC 做压力保护 ✅ ❌
GR-D 普通高纯，联锁 + 本地显示 气柜主控面板 ✅ ✅
GS-D 腐蚀卤化物、金属有机源 GF100、GP200 刻蚀设备 ✅ ❌