BROOKS布鲁克斯 CMC 系列电容压力计
标准型号示例

1. CMCA-T21-A-9PIN-KF16
   CMCA 基座、100Torr、0.25% 高精度、9 针 D-Sub、KF16 法兰
2. CMCA-T31-B-15PIN-4VCRF
   1000Torr、0.5% 经济型、15 针出线、1/4 VCR 高纯接口
3. CMCA-T11-A-5PIN-0
   10Torr 微量程、高精度、端子排、1/2 寸焊管

七、核心性能参数

1. 测量原理：电容式 Inconel 合金隔离膜片，与气体组分无关
2. 工作温度：0~80℃；补偿区间 0~50℃
3. 响应速度：≤20 ms
4. 零点温漂：0.005% FS/℃；量程温漂 0.027% FS/℃
5. 耐压上限：45 psia，超压保护
6. 供电：12~30 VDC，功耗＜200 mW
7. 输出：0–10 Vdc，负载阻抗＜10kΩ
8. 接液材质：全焊接 Inconel，耐受轻度腐蚀工艺气体
9. 重量：仅 137g，紧凑型小型化

特点

• 适用于 10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
• 有两种精度水平可供选择：读数的 0.25% 或 0.50%（可选）
• 在各种工作温度下均具有出色的性能
• 相较于传统非加热式电容压力计体积小 40%
• 全焊接结构和 Inconel® 接液表面

优势

• 可选择具有高精度校准功能的选件以满足昂贵的**非加热式压力计对精度的要求
• **的零点性能和跨温度系数
• 节省空间的设计有助于器件适配有限的设备空间
• 相较于易于发生故障（包括内部应力）的其他设计，拥有*佳的测量结果重现性