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BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计
产品型号：CMX0
产品简介：

XacTorr CMX 是恒温加热型电容薄膜真空规，对比常温 CMC 系列，自带控温加热，抑制工艺可凝气体（硅烷、金属有机、卤化物）冷凝污染膜片，长期零点漂移极小，是半导体刻蚀、ALD、CVD、薄膜沉积**真空闭环控制标配，原厂别名 CMX45 (45℃)/CMX100 (100℃)/CMX160 (160℃)
详细介绍

BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计

一、四大基础主干型号（按恒温温度区分）

型号 恒温加热温度 精度表现 适用工艺
CMX0 常温无加热（经济型，等同 CMC 升级数字版） ±0.25% 读数 无冷凝、洁净氮气 / 氩气腔体
CMX1（CMX45） 45℃恒温加热 1~1000Torr：±0.15%FS；＜1Torr：±0.25%FS 常规 CVD、PVD、无重沉积薄膜
CMX2（CMX100） 100℃高温加热 同 CMX1 高精度 易冷凝前驱体、ALD、金属有机源 MOCVD
CMX3（CMX160） 160℃超高温加热 ±0.25% 读数 高沸点、极易冷凝特种气体、刻蚀腔体

核心区别 CMX vs CMC

  • CMC：常温无加热、仅 0-10V 模拟、无数字总线、低成本通用镀膜
  • CMX：可恒温加热、支持 RS485/DeviceNet 数字通讯、极低温漂、半导体**工艺专用
特点
  • 适用于 0.10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围
  • 有多种精度水平可供选择
  • Mark IV **传感器
  • 数字化架构可实现超高**度的宽动态范围操作
  • 双区域温控功能可提高测量稳定性和可重现性
  • 多段数字校准功能可提供**窗口显示已知精度
  • 智能触控式零点调节
  • 可单独轻松访问的诊断维护端口
  • DeviceNet® 和模拟通信选件
优势
  • 漂移较低，能够为过程气体沉积提供极好的保护
  • 无需使用手动电位计，不存在电子漂移
  • 快速预热、闭阀温度控制并能够根据变化做出快速响应
  • 多段校准功能可提供**窗口显示已知精度以及对环境温度影响的实时补偿
  • 如果压力过高或者未达到目标温度则无法调零
  • 诊断端口允许用户在设备运行期间提供监视和数据采集功能，实现仓室和工具匹配以及“实时”**故障排除

核心性能参数

  1. 传感器：** Mark IV Inconel 隔离膜片，抗颗粒沉积，减少频繁校零
  2. 量程比：4 个数量级宽量程稳定测量
  3. 响应速度：≤40ms，适合高精度闭环压力控制
  4. 温漂指标（加热款）
    • 零点温漂：0.002% FS/℃
    • 量程温漂：0.02% 读数 /℃
  5. 超压保护：125% FS 或 17 psia，取较小值
  6. 接液材质：Inconel 合金 + 316L VIM-VAR 不锈钢，耐轻度腐蚀工艺气体
  7. 预热时间：标准 2h；≤1Torr 微量程需 4h 充分稳定