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BROOKS布鲁克斯 VersaTorr BVT真空计
产品型号： BVT225
产品简介：

VersaTorr BVT200/225 系列皮拉尼传感器树立了新的行业标准。这是一款适用于多种真空应用的全能型宽量程测量解决方案。它与其他真空计的区别在于，不仅能以**成本效益的方式实现 5.0E-3 至 1333 mbar 的气体独立测量，还能利用热损耗原理将测量范围延伸至 1E-6 mbar。
详细介绍

BROOKS布鲁克斯 VersaTorr BVT100 真空计

特点与优势
  • 9个数量级的超宽测量范围
  • 电容式隔膜在低真空范围内将精度提升至0.5%
  • 60年来，实现5E-3至1333毫巴范围内的气体独立测量
  • 电容式压力计的自动归零
  • 用于诊断的真空温度传感器

全系主干型号区分

型号 核心配置 适用场景
BVT200 标准三合一复合真空计，无内置大气压力开关 传输腔、PVD/CVD 粗抽、真空炉、通用镀膜腔体
BVT225 BVT200 本体 + 集成大气压检测开关 Load Lock 负载锁自动破真空、腔体泄压联锁

二、测量原理与量程分段

总量程：8e-7 Torr ~ 1000 Torr（大气压）
  1. MEMS Pirani 热导段：8e-7 ~ 1.125 Torr（高 / 中真空）
  2. 混合过渡段：1.125 ~ 1.5 Torr（皮拉尼 + 电容协同）
  3. 电容隔膜 CDG 段：1.5 ~ 1000 Torr（完全气体无关，等同 XacTorr 电容规精度）