型号分段释义

二、三大子系列通用核心参数

1. FPR-NSD-71（标准通用款，1MPa）

2. FPR-NSD-71SS2（两段可变微量调节款）

• 基础压力温度同 71 系列；内置两段开度调节，可精准控制微小流量，抑制气流冲击造成晶圆微粒污染

• Cv 线性可调，适配刻蚀 / 沉积机微量工艺气精密配比

3. FPR-NSD-721（高压款，20.5MPa 高压气体认证）

三、完整型号清单

1）标准直角 FPR-NSD-71（UJR 公头 / 母头）

2）两段微量可调 FPR-NSD-71SS2

3）高压 20.5MPa FPR-NSD-721

典型应用场景

1. 半导体晶圆刻蚀 / 沉积设备微量工艺气旁路

   SiH₄、NF₃、Cl₂、WF₆等腐蚀自燃气体精准配比、小流量调节

2. 高真空腔体进气微调阀，维持腔体稳定真空度，避免气流冲击颗粒

3. 高压特种气体钢瓶柜切断（721 高压款）、高压氢气 / 氦气实验室管路

4. 光伏、面板镀膜设备微量高纯氩气、氮气精密控制

5. 锂电、生物医药高纯惰性气体洁净管路，无油无析出污染

6.