产品概述

• FPR：90° 直角球形阀体

• N：高耐久长寿命

• H：高温耐受型

• D：直动气动隔膜结构

核心优势

1. 高耐久隔膜：标准工况 3000 万次开关循环，远超普通 NSD 系列

2. 宽温域：标准 - 10~80℃，高温规格可长期 150℃稳定工作

3. 极小死区容积，低微粒析出，适配先进制程高纯气路

4. UJR 金属硬密封垫片接头，重复拆装无泄漏

5. 全 SUS316L 阀体 + 金属隔膜，兼容 SiH₄、NF₃、Cl₂等腐蚀自燃气体

6. 出厂 100% 氦检漏，内外泄漏≤5×10⁻¹² Pa・m³/s

二、通用基础参数

三、完整型号清单（Excel 可直接复制表格）

1. 两端 UJR 公头（基础标准款 #A 批次标识）

2. 两端 UJR 母头（后缀 - 2）

3. PA 铝合金执行器升级款（高温工况优选）

六、典型应用场景

1. 半导体高温工艺设备

   刻蚀、沉积机高温吹扫管路、高温特种气体隔离切断阀，长期 24h 连续运行

2. 光伏、面板镀膜高温高纯氮气、氩气管路

3. 真空腔体高温进气隔离阀，维持稳定真空度，低微粒污染

4. 锂电、生物医药高纯惰性气体高温输送管路

5. 实验室高温腐蚀特种气体供气柜、长期在线监测切断阀

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