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MATSUO松尾
OMRON欧姆龙
KEYENCE基恩士
传感器
探头
EBARA荏原EV-M 型水冷多级罗茨干式真空泵
产品型号：EV-M302N
产品简介：
荏原独特的高温技术使其能够在半导体、液晶和太阳能电池制造等产生反应副产物的高负荷工艺中运行。其高能效可同时实现高负荷工艺能力和节能效果。标配耐腐蚀材料，并提供排气量高达110,000升/分钟的大排量型号。凭借丰富的产品系列，可满足各种工艺条件，从而应对广泛的高负荷工艺。
详细介绍
EBARA荏原EV-M 型水冷多级罗茨干式真空泵
规格
模型
单元
EV-M20N
EV-M102N
EV-M202N
EV-M302N
EV-M502N
EV-M505SF
EV-M802N
EV-M805SF
EV-M1205SF
冷却水
流速
升/分钟
3-8
3-8
3.5~8
4-8
5-8
5-8
5-8
5-8
5-8
温度
℃
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
*多 30
电源
功率容量
千伏安
3.3
5.4
6
6.8
7.1
15.7
8.3
19.4
14.2
排气速度
升/分钟
1800
10000
20000
30000
50000
50000
80000
80000
110000
极限压力
宾夕法尼亚州
5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
0.5
连接端口直径
进气口
西北40
ISO100
ISO100
ISO100
ISO160
ISO160
ISO200
ISO200
ISO200
排气口
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
西北40
达到压力时的近似功率值
千瓦
1.2
1.8
1.9
2.3
2.1
3.9
2.8
4.6
5.3
N2
流速
帕·米³/秒
26-31
26-31
26-31
26-31
28-33
228
28-33
228
34-35
电源相数/电压/频率
200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
-
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
近似质量
公斤
170
320
360
400
500