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DIC 迪爱生 SEPAREL表面活性剂对应脱气模组
产品型号： EF-AG5X
产品简介：

使用表面具有致密表皮层的独特中空纤维膜（SS膜），可以进行含有表面活性物质的液体的脱气。
详细介绍

DIC 迪爱生 SEPAREL表面活性剂对应脱气模组

特征

  • 采用DIC独特的中空纤维膜结构，可进行含有表面活性剂液体的脱气

  • 丰富的产品阵容（小型、低压力损失型等）

  • 可通过联机处理进行脱气处理

  • 节省空间

主要用途

  • 含有各种表面活性物质的液体的脱气（墨水、表面涂层剂等）

DIC 表面活性剂兼容脱气模组分PF-D 系列（标准水性含表活）、EF-AG/EF-G 系列（低阻微型水性表活专用）、EF-002A 系列（中大型油墨涂料） 三大产品线，全部采用 SS 致密表皮中空纤维膜，可长期处理含润湿剂、分散剂、氟素表活（MEGAFACE）的液体，不堵膜、ppb 级深度脱气。

一、PF-D 标准型 表面活性剂脱气模组（半导体 / 面板主流）

适配：水性光刻胶、显影液、SC 清洗液、CMP 研磨液、水性彩阻、含氟表活清洗液
型号 处理流量 核心适配介质（含表面活性剂） 典型运用场景
PF-001D 0.6–6 L/h 微量水药液、实验室小样、微量喷墨墨水 实验室涂布机、小型打样机、微量液相、生化小样脱气
PF-004D 1–100 mL/min 光刻胶、显影液、稀释显影液、晶圆漂洗水 半导体涂胶显影机、面板彩色滤光片涂布、小流量湿法支路
PF-010D 10–200 mL/min CMP 研磨液、碱性清洗液、蚀刻漂洗液 晶圆 CMP 设备、单片式清洗机、面板湿法清洗工位
PF-015D 50–500 mL/min 大流量显影循环液、高固含水性光阻 量产型面板涂布、8/12 寸晶圆批量清洗主回路
PF-030D 100–1000 mL/min 大循环清洗药液、工业水性涂料原液 大型涂布产线、连续式清洗流水线、涂料循环供料
PF-060D 300–1800 mL/min 超大流量水性油墨、建筑涂料循环系统 宽幅卷材涂布、大型喷墨供墨主线、涂料量产生产线

二、EF-AG / EF-G 低压力损失微型表活专用模组（精密设备 / 医疗生化）

外灌流低阻结构，高粘度水性表活体系压降极小，维护周期 3–6 个月，适配微量精密设备

EF-AG 微型精密系列

型号 流量 适配含表活液体 应用场景
EF-AG1SX 6–40 mL/min 生化缓冲液、微量试剂、微型喷墨墨水        微型数码打印机、实验室液相色谱
EF-AG2X 50–170 mL/min 水性颜料墨水、光学镀膜润湿液 桌面喷墨机、小型光学涂布、医疗诊断试剂管路
EF-AG3X 500–1200 mL/min 晶圆 SC-1 清洗液、水性彩光阻 中小型面板涂布、半导体单片清洗、光学膜涂布机
EF-AG5X 1–3 L/min 量产喷墨供墨、电镀润湿液循环 工业数码印刷机、卷对卷光学膜、电镀前处理槽液

EF-G 中流量通用型

型号 流量 适配介质 应用场景
EF-G3X 500–1200 mL/min 水性清洗剂、低粘度涂料 中小型涂料生产线、光伏湿法清洗
EF-G4X 1–2.4 L/min 高固含水性油墨、彩墨循环液 宽幅广告喷墨、卷材水性涂层产线

三、EF-002A / EF-002AX-P 中大型油墨涂料专用模组（印刷 / 涂料）

大流量工业级，适配高添加量分散剂、流平剂、氟素表活体系

型号 流量 适配含表活液体 运用场景
EF-002A 6–720 L/h 水性印刷油墨、木器水性涂料、乳胶漆 印刷厂供墨系统、家具涂料生产线、建筑涂料调配罐在线脱气
EF-002AX-P 6–720 L/h 高粘度工业面漆、水性 PU 涂料 汽车水性底漆、卷材防腐涂料、高光泽工业面漆

四、PF-F（DF）溶剂兼容脱气模组（含表活有机溶剂体系补充）

若体系同时含有机溶剂 + 表面活性剂（剥离液、溶剂型光阻、溶剂喷墨）选用 PF-F 系列，PTFE 全氟接触材质：

型号 流量 介质 场景
PF-05F(DF-05) 1–100 mL/min PGMEA 光阻、剥离液、含氟表活溶剂体系 半导体剥离工位、溶剂型光刻胶循环、精密溶剂清洗
PF-10F(DF-10) 1–200 mL/min 溶剂喷墨墨水、油性涂料 溶剂数码印刷、溶剂型光学涂层

五、各行业选型速查表（按流体含表面活性剂类型）

  1. 半导体 / 显示（MEGAFACE 氟素表活、显影润湿剂）

    微量涂胶：PF-004D / EF-AG3X；CMP 清洗：PF-010D；量产大循环：PF-030D

  2. 数码喷墨（颜料分散剂、润湿剂）

    微型设备：EF-AG1SX；工业量产机：EF-AG5X / EF-G4X；大型印刷产线：EF-002A

  3. 水性涂料 / 木器漆（流平剂、分散剂）

    小型打样：PF-001D；量产生产线：EF-002AX-P / PF-060D

  4. 溶剂 + 表活共存体系（剥离液、溶剂光阻）

    统一选用 PF-F（DF）系列，禁止 PF-D/EF-AG