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EBARA 荏原 ESA 系列干式罗茨真空泵
产品型号:ESA100WN
产品简介:

适用于抽取氢气等轻质气体的干式真空泵/大型腔室的高速排气

详细介绍
EBARA 荏原 ESA 系列干式罗茨真空泵
产品介绍
  • ESA系列提供排气量为1,400 L/min至10,000 L/min的型号,适用于氢气等轻质气体排气;以及排气量为20,000 L/min至80,000 L/min的型号,适用于大型腔室的高速排气。排气量为10,000 L/min或以下的型号适用于轻质气体排气,其设计紧凑,并可选配耐腐蚀材料,使其成为MO-CVD等高流量轻质气体排气应用的理想选择。较大型号的排气量虽大,但运行安静、振动小,并可选配有机溶剂排气功能,使其成为LCD溅射设备、真空干燥工艺和大型负载锁的理想选择。

    规格

    模型 单元 ESA15-D ESA25-D ESA25XW ESA70W(-D) ESA70WN(-D) ESA80W-HDF ESA80WN-HDF ESA100W ESA100WN ESA200W E SA300W ESA500W
    冷却水 流速 升/分钟 3.5~8 3.5~8 7-16 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 3.5~8 6-9 6-9
    温度 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30 *多 30
    电源 功率容量 千伏安 6.4 6.4 12.8 10.3 10.3 12.6 12.6 12.6 12.6 12 23.7 41.3
    排气速度 升/分钟 1400(50Hz)
    1700(60Hz)
    2,500 (50Hz)
    3,000 (60Hz)
    5,000 (50Hz)
    6,000 (60Hz)
    7,000 (50Hz)
    8,400 (60Hz)
    7,000 (50Hz)
    8,400 (60Hz)
    8,400 (50Hz/60Hz) 8,400 (50Hz/60Hz) 10,000 (50Hz/60Hz) 10,000 (50Hz/60Hz) 20,000 (50Hz/60Hz) 28,000 (50Hz)
    30,000 (60Hz)
    47,000 (50Hz)
    50,000 (60Hz)
    极限压力 宾夕法尼亚州 400 (50Hz)
    270 (60Hz)
    5.3 (50Hz)
    4.0 (60Hz)
    5.3 (50Hz)
    4.0 (60Hz)
    0.27 (50Hz)
    0.13 (60Hz)
    0.4 (50Hz)
    0.27 (60Hz)
    0.13 0.27 0.13 0.27 0.53 0.53 1.0
    连接端口直径 进气口 西北40 NW50 ISO80 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW50 NW80 ISO100 ISO160
    排气口 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 西北40 NW50
    达到压力时的近似功率值 千瓦 2.9 (50Hz)
    3.2 (60Hz)
    2.6 (50Hz)
    2.9 (60Hz)
    5.2 (50Hz)
    5.8 (60Hz)
    3.6 (50Hz)
    4.0 (60Hz)
    3.6 (50Hz)
    4.0 (60Hz)
    4.2 4.2 4.9 4.9 3.2 (50Hz)
    3.4 (60Hz)
    6.6 (50Hz)
    7.3 (60Hz)
    5.1 (50Hz)
    6.7 (60Hz)
    N2 流速 帕·米³/秒 14-17 (4.6) 17-20 (3.8) 34-40 24-27 (4.7) 24-27 (4.7) 54-57 54-57 54-57 54-45 17-20 (3.8) 7.5~10.5 8.5~11
    电源相数/电压/频率 200V 型号 三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    三相/200V/50Hz
    三相/200-220V/60Hz
    400V 型号 三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
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    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    三相/380-400V/50Hz
    三相/380-440V/60Hz
    460V 型号 三相/440V/50Hz
    三相/440-480V/60Hz
    三相/440V/50Hz
    三相/440-480V/60Hz
    近似质量 公斤 240 240 480 380 380 400 400 400 400 410 700 750