成为连接全球半导体资源 与国内终端需求的核心桥梁
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ANALYZER 第1热研分离式低浓度氧传感器
P:Rc1/8 螺纹,快速响应型
R:Rc1/4 螺纹,通用管道款
S:3/8 英寸卡套接头,洁净气路 / 半导体专用
V:VCR 真空接口,高低压 / 微负压腔体专用
量程:0.1ppm ~ 100% O₂
输出:4~20mA、2 路报警继电器、RS485 Modbus
适配:半导体、热处理、制氮常规微量氧监测
量程:1×10⁻³⁰ atm ~ 0.1ppm ~ 100% O₂
功能:超宽氧分压、多段量程切换、高精度低漂移
适配:超高纯氮气、特种惰性气体、科研超低残氧检测
多路报警、参数存储、远程通讯、多设备组网
适配:自动化产线 PLC 闭环控制、多工位集中监测
检测原理:稳定氧化锆浓差电池
测量量程:1ppm ~ 100% O₂(C-48C 可至 ppb 级氧分压)
线性精度:±1% FS 或 ±1ppm(取较大值)
样气温度:*高 300℃(需前置降温预处理),常规适配常温洁净气
流量耐受:0.2~5L/min,流速对测量干扰极小
防腐结构:传感芯多层陶瓷防护,耐受微量 HCl、SOₓ酸性杂质
分体线缆:标配 2m,可定制加长至 10m,探头、控制器可分离拆装
整机质保:2 年,传感芯可单独更换,维护成本低
半导体电子:晶圆氮气腔体、回流焊炉、封装手套箱、超高纯氮气管路残氧监控
气体制造:PSA 制氮机、空分设备、储罐保护气在线检测
热处理:退火炉、钎焊炉惰性保护气氛微量氧管控
实验室 / 锂电:厌氧舱、特种惰性气体、高纯工艺气监测