四大型号核心参数总表

通用基础规格（全部机型一致）

• 供电：AC100～240V 50/60Hz
• 采样周期：100ms
• 模拟记录仪输出：DC 0～5V / 0～10V（可选）
• 通讯选项：RS485/RS422A，单总线*多 16 台组网
• 工作温度：0～40℃
• 安装：483mm 标准机架（19 英寸盘装）

表格

1. PT-3DA 皮拉尼真空计

测量区间：大气压 → 0.1Pa（粗真空、低中真空） ✅ 优势：

• 可直接接触大气，启停无需保护；
• *多 3 路皮拉尼探头同时接入，同时显示；
• 6 组压力阈值继电器，适合真空泵启停、粗抽阀自动控制。 ⚠️ 局限：气体种类影响读数（对空气标定，氩气、氮气读数偏差）。 运用场景
• 真空炉粗抽系统、冷冻干燥设备
• 镀膜机粗抽管路监测
• 锂电池真空烘箱、真空脱泡
• 普通中小型干式泵、旋片泵前端压力监测
• 需要多点真空压力同步采集的产线

2. CT-3DA 冷阴极真空计（CCG）

测量区间：0.5Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa（中高真空） ✅ 优势：

• 无灯丝，相比热阴极寿命大幅更长；耐短暂离子轰击；
• 结构简单，适合长期连续运行； ⚠️ 局限：压力＞1Pa 无法启辉；不能在大气下通电；油蒸汽、粉尘易污染规头。 运用场景
• 光学镀膜、PVD 溅射机高真空监测
• 半导体干泵机组高真空腔体
• 电子束蒸发设备、科研高真空腔体
• 不希望频繁更换灯丝的连续生产设备

3. IT-3DA 热阴极电离真空计（BA 规）

测量区间：0.1Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa（高真空～超高真空） ✅ 优势：测量下限*低，可达 10⁻⁷Pa；支持规管除气功能。 ⚠️ 局限：内置钨灯丝；一旦真空恶化暴露大气极易烧断灯丝；需要联锁保护。 运用场景

• 超高真空实验腔体、表面分析设备
• MBE、电子显微镜配套真空系统
• 需要监测 10⁻⁷Pa 量级精密真空工艺

4. PC-3DA 皮拉尼 + 冷阴极 组合真空计【选型**】

量程：大气压～1×10⁻⁶ Pa，全自动跨量程切换 工作逻辑： 压力高区间使用皮拉尼 PSG-1；真空达到切换阈值，自动启动冷阴极 C-4A，无缝衔接。 ✅ 优势：单台覆盖整套抽气全过程，无需两套控制器；6 组继电器，方便粗抽阀、高阀、泵组时序联锁。 运用场景（半导体 / 镀膜主流选型）

• 磁控溅射、光学镀膜机整套真空监测
• 半导体刻蚀、薄膜沉积设备腔体压力监控
• 科研多功能真空腔体
• 真空设备自动化控制、FA 工厂自动化产线