DIAVAC 大亚真空3W 系列｜三通夹紧阀

3W 系列分为3W（手动型）、3AW（气动型）两大分支，KF/NW 标准法兰真空三通阀，属于L 型流向切换阀；三通道定义：

• C 口：腔体侧（Common 公共口）
• R 口：粗抽 / 真空泵侧
• F 口：破空 / 放气旁路侧 工作逻辑二选一：C↔R 连通（抽真空） 或 C↔F 连通（腔体破空）；不会三路同时互通。

一、全部型号总参数表

表格

通用基础规格（全系统一）

1. 阀体材质：SUS304 不锈钢
2. 标准密封：FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（耐腐蚀工艺气体）
3. 允许阀座压差：*大 0.1 MPa（大气压压差）
4. 使用寿命：室温环境 ≥10 万次启闭
5. 适用真空区间：大气压 ～ 1×10⁻⁶ Pa（粗真空、中高真空）
6. *高使用温度：70℃（标准 FKM）；不支持高温烘烤
7. 可选配件：限位簧pian开关（反馈阀门位置，接入 PC-3DA/PT-3DA 真空计做联锁）

⚠️重要结构特点 区别于普通三通球阀：阀盘采用面压紧密封，无球阀持续摩擦磨损问题，真空密封性长期稳定；切换时经过中间隔离位，不会出现抽气口与放气口直接互通。

工作流程（标准管路接法）

• C → R：腔体 ↔ 真空泵 → 抽真空模式
• C → F：腔体 ↔ 大气（放气阀 / 微调破空） → 破空泄压模式 一台阀门替代「粗抽角阀 + 独立放气阀」，简化管路布局、减少法兰泄漏点。

四、适用运用场景

1）实验室小型真空腔体

小型蒸发设备、真空脱泡、样品预处理腔体；手动款 3W-25 *常用，一键切换抽气 / 破空。

2）中小型镀膜设备（磁控溅射、电阻蒸发）

搭配 PC-3DA 组合真空计 自动化时序： 真空计监测压力达标后，程序控制 3AW 气动三通阀切换腔体破空开盖；省去两只独立 LCAV 角阀，缩小机架安装空间。

3）锂电池真空烘箱、小型真空封装设备

腔体抽真空与泄压自动切换；避免复杂阀组，降低管路成本。

4）检漏系统、预抽站旁路

小型预抽真空机组，腔体预抽完成后破空换样；适合频繁开盖取样工况。

5）配套 DIAVAC 真空计成套方案推荐

• 手动设备：3W-25 + PT-3DA（皮拉尼真空计）
• 自动化产线：3AW-25/3AW-40 + PC-3DA（皮拉尼 + 冷阴极组合真空计）