DIAVAC 大亚真空BV 系列气动波纹管直通阀

通用基础规格（全系统一）

1. 阀体材质：SUS304 不锈钢；波纹管 SUS316L 成型金属波纹管
2. 标准密封：FKM 氟橡胶 O 圈；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（耐腐蚀工艺气体、等离子环境）
3. 适用真空区间：大气压 ～ 1×10⁻⁶ Pa（粗真空→高真空）
4. 允许压差：阀座*大压差 0.1 MPa（大气压压差）
5. *高使用温度：标准 FKM 密封*高 80℃；不支持高温烘烤
6. 驱动形式：单作用气动（弹簧复位，失气自动关闭，**型）
7. 使用寿命：常温环境 ≥80 万次启闭
8. 可选配件
   • 开 / 关限位微动开关（阀门位置信号反馈，对接 3DA 真空计、PLC 联锁）
   • 加长波纹管、定制线缆

⚠️核心结构优势 普通角阀阀杆填料处存在润滑脂渗透挥发风险；BV 依靠金属波纹管完全隔离大气侧气缸与真空腔体，零有机物挥发，腔体不受外部油脂污染。

全型号参数总表

表格

运用场景

1. 光学镀膜、电子束蒸发设备（*主流场景）

扩散泵入口隔离主阀；防止扩散泵油蒸汽返流污染腔体；搭配 HV 挡板阀组成双道隔离；配套 CT-3DA 冷阴极真空计监测高真空。

2. 磁控溅射、PVD 薄膜沉积工艺

对腔体洁净度有要求，不允许润滑脂挥发造成膜层缺陷；用作腔体预抽管路隔离阀、高真空管路切断阀。

3. 科研真空腔体、表面分析实验装置

小型高真空实验台、样品预处理腔体；保护电离规（IT-3DA 热阴极规），腔体破**自动关断，防止大气冲击灯丝烧毁。

4. 锂电池、半导体中小型真空制程

避免有机挥发物污染工件；用于真空干燥、小型腔体预抽回路；搭配 PC-3DA 组合真空计实现全自动时序控制。

5. 真空检漏系统、高精度真空测试台

管路隔离阀，杜绝外部泄漏与污染，保障检漏精度。