DIAVAC大亚真空AV 系列真空放气阀

AV 系列：独立微型节流破空阀，慢速软泄压，保护样品 / 规管；仅进气功能，无抽气通道

重要区分：AV 是独立微型放气阀；3AW 三通阀集成破空功能，大腔体大通量切换；小腔体微量破空优先 AV。

一、全型号规格总表

表格

二、通用基础参数（全系统一）

1. 阀体材质：SUS304 不锈钢
2. 标准密封：FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（耐腐蚀工艺气体、等离子工况）
3. 适用真空区间：大气压～1×10⁻⁶ Pa（粗真空～高真空）
4. 结构特点：节流式小孔破空，不会瞬间大量进气，实现软破空，防止湍流冲击腔体、粉末飞溅、薄膜受损
5. *高使用温度：70℃（标准 FKM，不支持高温烘烤）
6. 启闭寿命：常温 ≥15 万次
7. 可选配件
   • 气动款 AV-A：限位微动开关（阀门开闭信号反馈，接入 PC-3DA / PLC 联锁）
   • 进气端可加装空气过滤器，防止灰尘进入真空腔体
8. 安装形式：任意角度安装，KF 卡箍快拆

三、型号后缀说明

• -M = Manual 手动款：顶部旋钮旋转启闭；实验室、半自动设备
• -A = Air 气动款：气缸驱动，自动化产线主流，搭配电磁阀时序控制

四、核心功能优势

1. 限流小孔设计（关键） 不同于大通径阀门直接猛烈破空；AV 内置节流孔，缓慢平衡压差，保护： ✅ IT-3DA 热阴极电离规（防止真空骤变、大气冲击烧毁灯丝） ✅ 溅射靶材、薄膜样品、粉体物料不被气流吹落
2. 体积小巧，可直接安装腔体侧壁、真空管路 T 接头
3. 独立阀，检修方便；不占用主抽气管路通导

五、运用场景

1. 镀膜设备（磁控溅射、光学蒸发、电子束蒸镀）

*典型应用：工艺完成、开盖前自动破空； 配套方案：AV-25-A + PC-3DA 真空计 压力信号触发，关断高阀、粗抽阀后，延时开启 AV 缓慢泄压。

2. 科研小型高真空腔体、表面分析设备

保护 IT-3DA 热阴极电离规；必须设置联锁：腔体未关阀禁止开启电离规，破**先关闭电离规。

3. 锂电池真空烘箱、真空封装、真空脱泡设备

缓慢泄压，避免电芯、工件受气流扰动；防**泡样品起泡反弹。

4. 真空检漏台、样品预处理腔体

频繁开盖更换样品，平稳破空，稳定腔体工况。

5. 搭配 3AW 三通阀组合方案

3AW 负责主回路抽气 / 破空大流量切换；AV 作为微调辅助破空，实现快慢两级泄压。